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Wafer #31107, 31108, 31110. PT100 12345 678910 12345 6789 12345.

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1 Wafer #31107, 31108, 31110

2

3 PT100

4

5 Connections between sensor and heater

6

7 WAFER After gluing After soldering #31107 Dig-AnalogDigSensor Res 1Res2 Res 1Res2parasitic Res 1Res2parasiticPT100 parasitic Channel Channel ~Channel ~ K Channel Channel ~Channel M K Channel Channel ~Channel ~ K Channel4100.9~Channel4100.5~46KChannel4100.6~6.1K K Channel Channel KChannel K Channel Channel MChannel M111.3 Channel Channel KChannel K111.3 Channel Channel ΩChannel ~111.4 Channel Channel KChannel K111.3 Channel Channel KChannel K111.2 resistances parasites mesurées entre 5K et 10MΩ sur les cannaux 6 à 10 resistances parasites mesurées entre 437 et 20MΩ sur les cannaux 6 à 10 resistances parasites mesurées entre 1.3K et 12MΩ Sensor: 250KΩ entre 1 et 2 4 M Ω entre 4 et 5Sensor: OK Sensor:1-2:260KΩ 2-3:330KΩ 3-4:850KΩ 4-5:8KΩ Heater #31107

8 #31108 Res 1Res2 Res 1Res2parasitic Channel Channel KΩ Channel Channel Channel Channel Channel4100.1~Channel499.8~ Channel Channel KΩ Channel Channel KΩ Channel Channel Channel Channel MΩ Channel Channel Channel Channel resistances parasites mesurées entre 230K et 1.5MΩ sur les cannaux 1 à 5 resistances parasites mesurées entre 47K et 30MΩ Sensor: OKSensor: 387KΩ PT100#1 Heater #31108

9 #31110 Dig- AnalogDigSensor Res 1Res2 Res 1Res2parasitic Res 1Res2parasiticPT100 parasitic Channel Channel Channel K Channel Channel KChannel M K Channel Channel Channel K Channel491.3~Channel490.5~Channel490~ K Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Channel Pas de resistance parasite mesurée entre les résistances resistances parasites mesurées sur CH2: 228KΩ resistances parasites mesurées sur CH2: 17MΩ Sensor: OK Sensor: 16MΩ Sensor:1-2:26K 2-3:14K 3-4:5K 4-5:3.5K WAFER After gluing After soldering Heater #31110


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