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2011 SGM Auteur : ESNOUF Claude CLYM Séminaire 3 Emission, détection, propagation, optique des rayons X.

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1 2011 SGM Auteur : ESNOUF Claude CLYM Séminaire 3 Emission, détection, propagation, optique des rayons X

2 Introduction Vous êtes autorisé : A reproduire, distribuer et communiquer, au public, ce document, A modifier ce document, selon les conditions suivantes : Vous devez indiquer la référence de ce document ainsi que celle de louvrage de référence : ESNOUF Claude. Caractérisation microstructurale des matériaux : Analyse par les rayonnements X et électronique. Lausanne: Presses polytechniques et universitaires romandes, 2011, 596 p. (METIS Lyon Tech) ISBN : Vous n'avez pas le droit d'utiliser ces documents à des fins commerciales. Vous pouvez accédez au format PDF de ce document à ladresse suivante : © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 2

3 Accès aux autres séminaires 1 - Séminaire « Rappels cristallographie 1 » Séminaire « Rappels cristallographie 1 » 2 - Séminaire « Rappels cristallographie 2 » Séminaire « Rappels cristallographie 2 » 3 - Séminaire « Emission, détection, propagation, optique des rayons X » Séminaire « Emission, détection, propagation, optique des rayons X » 4 - Séminaire « Méthode des poudres en DRX » Séminaire « Méthode des poudres en DRX » 5 - Séminaire « Méthodes X rasants et mesure des contraintes » Séminaire « Méthodes X rasants et mesure des contraintes » 6 - Séminaire « Emission électronique – Conséquence sur la résolution des microscopes » Séminaire « Emission électronique – Conséquence sur la résolution des microscopes » 7 - Séminaire « Diffraction électronique » Séminaire « Diffraction électronique » 8 - Séminaire « Projection stéréographique » Séminaire « Projection stéréographique » 9 - Séminaire « Imagerie CTEM » Séminaire « Imagerie CTEM » 10 - Séminaire « HAADF » Séminaire « HAADF » 11 - Séminaire « HRTEM » Séminaire « HRTEM » 12 - Séminaire « Ptychographie » Séminaire « Ptychographie » 13 - Séminaire « EELS » Séminaire « EELS » 3 © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés

4 EMISSION, DETECTION, PROPAGATION, OPTIQUE des RAYONS X Claude ESNOUF - CLYM Ligne de lumière à SOLEIL Séminaires du CLYM 4 © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés

5 Plan EMISSION X Bombardement électronique, Rayonnement synchrotron Emission naturelle Autres sources DETECTION X Films - Imaging plates - Compteurs - Scintillateurs - Capteurs photosensibles - Diodes dispersives en énergie PROPAGATION X Indice et absorption Application aux filtres Réflexion totale OPTIQUE pour RAYONS X Optique réfractive Optique diffractive (lentilles de Fresnel) Optique réflective Monochromateurs Fentes de Soller © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 5

6 EMISSION X A) Bombardement dune matière par des particules (le plus souvent des électrons), B) Accélérer (décélérer) une particule chargée (les synchrotrons), C) La radioactivité déléments. M 1 à M 5 L2L2 K L1L1 L3L3 eSeS h e–e–e–e– h = E L 3 – E M 5 Diagramme dénergie électronique : retour énergétique sous réserve de règles de sélection : n 0 l = +1, 1 j = +1, 0, 1 Spectre de raies K, K, L, …. A A K A L M eSeS eSeS Faisceau e–e–e–e– e–e– h A E cin A) Bombardement par des électrons A-1) Emission caractéristique : phénomène dexcitation/désexcitation radiative © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 6

7 } l = 2 d } l = 1 p l = 0 s V IV III II I M n = 3 j = 5/2 j = 3/2 j = 1/ } 18 e – 2 L n = 2 K n = 1 III II I } l = 1 p l = 0 s j = 3/2 j = 1/2 4 2 } 8 e – 2 l = 0 s j = 1/2 2 } 2 e – 2 j +1 2n2 2n2 Couches Etat l 1 4 Série K 2 p 1 s Séries L II, L III 3 s, 3 d 2 p Série L I 3 p 2 s 3 I Tableau des transitions : Exemple du cuivre (Z = 29) : Etat électronique Cu = 1s 2 2s 2 2p 6 3s 2 3p 6 4s 1 3d 10 K 1 Transition L 3 -K (K 1 ) = 100% K 2 Transition L 2 -K (K 2 ) = 50% K 2 Transition L 3 -K (K 2 ) 15% pour des excitations électroniques de hautes énergies (typiquement, quelques dizaines de keV). L II (2e - ) L III (4e - ) (2j+1 magnétons de Bohr m j ) Emission X © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 7

8 Emission X Longueurs d'onde des principales anticathodes et seuils d'excitation (V K est le potentielélectrique minimum à donner à un électron primaire pour quil ionise le niveau K des atomes). Anticathodes Longueur d'onde (nm) Seuil d'excitation Nature Numéro atomique K 2 K 2 V K (V) Chrome Fer Cobalt Nickel Cuivre Molybdène Rhodium Palladium Argent Tungstène ,2294 ; 0,2290 0,1940 ; 0,1936 0,1793 ; 0,1789 0,1662 ; 0,1658 0,1544 : 0,1540 0,07135 ; 0, ,06176 ; 0, ,05898 ;0, ,05638 ; 0, ,02138 ; 0, ,285 0,1757 0,1621 0,1500 0,1392 0, , , , , ; K 1 Dans la pratique ? + - Enveloppe en plomb Faisceau X divergent Anticathode (anode) Filament Enceinte en verre Fenêtre béryllium ou aluminium e-e- Tube à rayons X © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 8

9 Exemples de sources X et leur caractéristiques (données «Rigaku Journal», 2004) - Tube microfoyer Puissance du tube en kW/mm 2 Taille du foyer en mm 2 Brillance en ph/s·mm 2 /mrad 2 Tubes scellés 2 1,5 10 x 1 8 x 0,4 5, , Anodes tournantes x 0,5 2 x 0,2 1, , ,0012 0,002 x 0,002 9, © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 9

10 A-2) Emission continue : phénomène de freinage des électrons ou Bremsstrahlung Le ralentissement des électrons dans la matière produit une émission radiative caractérisée par un rayonnement blanc. (nm) 0,02 0,09 50 kV 40 kV 35 kV 30 kV 25 kV 20 kV Intensité Intensité totale ZV 2 E o = 20 keV 0,5 m Faisceau primaire Electrons diffusés Occasionne un fond sur les diffractogrammes ou utile à la méthode de Laue. Seuils (h hc/eV © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 10

11 A-3) Fluorescence : phénomène dexcitation/désexcitation radiative initié par le faisceau X dans léchantillon. A A K B K L L M eSeS Faisceau X h h L h La fluorescence se produit si lénergie h des photons du faisceau X est supérieure à lénergie de liaison des électrons des atomes de la cible. Autrement dit, une émission K de fluorescence ne se produit que si lanticathode est de numéro atomique plus élevé que lélément cible. Lintensité de fluorescence croît linéairement avec Z. Elle est importante si les numéros atomiques sont assez voisins. Exemple Exemple : Un échantillon de fer (Z = 26) irradié par un faisceau X émis par du cuivre (Z = 29) Beaucoup de fluorescence NB : La fluorescence est exploitée comme méthode de dosage des éléments dans une cible. La méthode XRF est très résolue en terme de concentration minimum détectable (de lordre du µg/g). © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 11

12 B) Le rayonnement synchrotron Lélectron en accélération rayonne une onde électromagnétique damplitude (la norme du champ électrique) valant : rad pour E = 6 GeV m e : masse de l électron ; r e : rayon de l'électron = 2, m ; : angle (OP, ) Emission synchrotronique Electron Rayonnement émis Accélération Trajectoire v << c R 2 2 m e c 2 /E Electron Rayonnement émis Accélération Trajectoire v c R Cas dun électron relativiste Cas dun électron lent x y z 2 e–e–e–e– P O Onde plane Onde sphérique r EoEoEoEo E © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 12

13 Le synchrotron (en France, ESRF* à Grenoble et SOLEIL* à Saclay). - Une cinquantaine dans le monde - les 2 français sont de la 3 ème génération, - Un synchrotron est constitué de : Accélérateur linéaire (jusquà 200 MeV) Booster (anneau daccélération - jusquà 6 Gev (ESRF), 2,75 GeV (SOLEIL) Anneau de stockage (injection de paquets délectrons dans 844 m ou 354 m de circonférence à une vitesse c et une période 1 µs) Aimants de courbure (pour garantir une trajectoire presque circulaire) Cavités accélératrices (perte dénergie des paquets délectrons à cause rayonnement) Wigglers (imprime une trajectoire oscillante grâce à des champs magnétiques alternés, doù une augmentation de la puissance rayonnée dun facteur 2p (p : nombre de périodes) ou Onduleurs (wiggler à période doscillation courte et interférences, facteur p 2 ) Lignes de lumière (40 à ESRF ; 24/43 en 2009 à SOLEIL) * ESRF : European Synchrotron Radiation Facility ; SOLEIL : Source Optimisée de Lumière Intermédiaire du LURE. Anneau de stockage Booster Accélérateur linéaire Ligne de lumière 100 m Aimant de courbure Aimants de focalisation Onduleurs Ligne de lumière © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 13

14 Valeurs indicatives de la brillance des sources X (documents ESRF et SOLEIL) NB : Dans le cas du rayonnement synchrotronique, la brillance est évaluée sur un domaine spectral de 0,1%. Les caractéristiques majeures de ce type de rayonnement sont : la forte brillance et sa nature blanche (rayonnement blanc, doù la nécessité de monochromatiser) © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 14

15 C) Emission naturelle Exemple 1 : Lisotope 55 Fe émet des rayons X (étalon des détecteurs X). Exemple 2 : Robots américains Spirit (juin 2003) et Opportunity (juillet 2003) sont équipés de sources radioactives au Curium 244 qui produisent des particules et des rayons X pour analyser le sol martien (Opération Mars Explorer Rover). D) Autres sources - Futures sources de rayons X : émission X par interaction matière/laser femtoseconde (plasma créé par irradiation laser de cibles métalliques), puis laser X. - Pulsars (rotation rapide dun astre dans un champ magnétique). - Bombardement par des particules autres que les électrons : Linstallation PIXE (Particle Induced X-ray Emission) au Laboratoire du Grand Louvre dispose de - Bombardement par des particules autres que les électrons : Linstallation PIXE (Particle Induced X-ray Emission) au Laboratoire du Grand Louvre dispose de laccélérateur AGLAE (Accélérateur Grand Louvre dAnalyse Elémentaire) qui délivre jusque sous deux millions de Volts des faisceaux de protons, de deutons et dions hélium (6 MeV), ainsi que des ions plus lourds (O, N, …). Analyse par PIXE dun livre ancien au Centre de Recherche et de Restauration des Musées de France. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 15

16 DETECTION X Détecteurs de rayons et principe de fonctionnement : film photographique - Le film photographique : (pour mémoire) imaging plates - Les imaging plates : supports photostimilables en fluoro- bromure de baryum dopé à leuropium (grains fins de 5 µm insérés au sein dun film polymère, le tout étant déposé sur un support métallique). Lors de lexposition aux RX, chaque grain subit une excitation qui place le fluoro-bromure dans un état « semi-stable » durable pendant plusieurs heures (en fait, décroissant lentement sur plusieurs jours). La lecture est faite par une illumination avec un faisceau laser émettant dans le rouge qui a pour effet de stimuler la désexcitation du fluoro-bromure qui émet alors un signal de luminescence bleu. Les « imaging plates » sont réutilisables après une exposition à la lumière blanche. La densité de lecture va de 5 à 40 pixels par millimètre. grande dynamiqueréponse linéaire Ils sont dotés dune grande dynamique + dune réponse linéaire. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 16

17 compteur Geiger-Mullercompteur proportionnel. - Les compteurs à gaz : compteur Geiger-Muller et compteur proportionnel. Produire une avalanche dans une enceinte contenant un gaz (mélange de gaz rares (Ar, Xe) avec 10% de gaz ionisable comme CH 4, CO 2, …). mesure du courant Dans le cas du compteur proportionnel, lavalanche est contrôlée ; elle produit un un nombre reproductible de charges électroniques, doù une mesure du courant (proportionnel au flux de photons X initiateurs). Avec le compteur Geiger, le nombre de coups est la source de la mesure. Très utilisés en diffractométrie X. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 17

18 scintillateur - Le scintillateur : le même que le détecteur délectrons secondaires dun MEB (détecteur dEverhart-Thornley). HT Dynodes Photomultiplicateur Conduit de lumière Substance fluorescente Electrons Rayon X Grille +150 V Signal électrique de sortie h HT capteurs photo-sensibles - Le capteurs photo-sensibles :bénéficier de leffet photoélectrique pour libérer des électrons au niveau dun photosite. Mais ceci à partir dun rayonnement lumineux ! Doù le couplage avec un scintillateur et un conduit optique par fibres. Il existe 2 types de photosites : CMOS (Complementary metal oxide semi-conductor) = photodiode + amplification intégrées. CCD (Charge-Coupled Device) = piégeage de paires e-/trou dans un puits et transfert en fin dexposition. Refroidissement par effet Peltier Fibre optiqu e Scintillateur Fenêtre de béryllium Vide Vers enregistrement © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 18

19 Les CCD (suite) : Ils peuvent être de grande taille (exemple, le Q315 dont la détecteur 2D taille du photosite est de 14 µm) détecteur 2D (carte) compteur à fil - Le compteur à fil (MWPC pour Multi Wire Proportional Counter) : catalogué aussi comme compteur à gaz, il est composé dune série de fils parallèles dans un même plan et plongés dans un gaz (mélange dargon, de xénon et de gaz carbonique) qui sionise au passage dun photon X. Les fils étant polarisés, lionisation est source dune impulsion électrique qui, cumulée dans le temps, donne lintensité X. Anodes ( 10µm) Cathode en cuivre Fenêtre (Be) 10 mm 1 mm 0,5 mm détecteur linéaire ou 2D. Diamètre 200 mm) © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 19

20 diodes dispersives en énergie - Les diodes dispersives en énergie : Abondamment utilisées en spectroscopie X (EDS) Le principeLe principe : Créer des porteurs électrons/trous le long de la trajectoire du RX dans un semi-conducteur Si-i et les collecter dans une diode p-n polarisée en inverse. Zone n : Lithium - Zone p : Bore Dans Si, il faut 3,6 eV pour créer une paire, soit pour un photon Cu-K (8 keV) : 2 x 1, x 8000/3,6 = Cb. Si la collection se fait en 1µs, I Cu-K = 0,7 nA. FET – HV Doigt froid Si - zone intrinsèque Dopage p Dopage n Fenêtre Be Rayons X Dépôt dor Les contraintes :Les contraintes : - Nécessité de refroidir la diode (sinon trop de bruit et diffusion du Li puis destruction immédiate), - En conséquence, nécessité de garder un vide poussé dans la diode Si(Li) (getter ou pompe ionique qui ne doit jamais être arrêtée), Les avantages :Les avantages : spectre diffractogramme filtré - En rangeant les courants dans des canaux dénergie, on obtient le spectre X. Il suffit de choisir une fenêtre en énergie pour acquérir le diffractogramme filtré. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 20

21 1 -Le détecteur SDD ( 1 - Le détecteur SDD (pour Silicon Drift Deflector) Diode p-i-n sans dopant Lithium (refroidissement modéré à -20, -30°C) ; élaborée en utilisant la technologie de lintégration (microélectronique) - le FET sur la plaquette de silicium). Un détecteur performantUn détecteur performant : Vitesse dacquisition jusquà cps, Surface active : de 7 à 100 mm 2, Résolution en énergie de 125 eV (à cps et seuil K du Mn). diodes dispersives en énergie Les diodes dispersives en énergie : 2 variantes Arrière p 1 er anneau Anode DGS FET { Trajet des électrons n Module SDD-VITUS de Ketek GmbH V arrière V OR V IR e–e– trous © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 21

22 2 -Les détecteurs linéaires à diode 2 - Les détecteurs linéaires à diode pour diffraction X (LYNXEYE) Diode p-i-n avec une résolution énergique moyenne ( E eV) possédant 192 bandes (équivalent à 192 détecteurs rectilignes). Un détecteur rapide Collection simultanée sur 4° (en 2 ), doù acquisition 200 fois plus rapide. Surface active : 14 x 16 mm 2, soit une résolution spatiale de : 14/192 = 75 µm. (K ) à 8,05 keV (K ) à 8,90 keV Spectre démission du Cu Photon X Substrat type n Bandes métalliques Vers lélectronique SiO 2 Zone type p © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 22

23 PROPAGATION X RX = Onde électromagnétique ( 0,15 nm ; = c/ Hz). n = 1 i Notion dindice n = c/v, qui sécrit sous la forme* : n = 1 i très peu réfractés Le terme est très faible, les RX sont très peu réfractés (problème des optiques). Le terme i mesure labsorption et est relié au coefficient dabsorption par : = /4 discontinuités = /4 Il est donc soumis à des discontinuités régies par la loi de Moseley. * Un site utile : Loi dabsorptionLoi dabsorption : I = I o exp(-µz) = I o exp(-µ/ z) µ : cœff. linéaire µ/ : cœff. massique Seuils dabsorptionSeuils dabsorption : se situent à des longueurs donde données par : z dz z I IoIo dI/I = - µ dz I + dI Seuil K du Si Seuil K du N Seuils L du Si Energie (eV) Cu-K Dans Si 3 N 4 = C te Z Exemple : Emetteur Cu (Z = 29 ; = 0,154 nm) Absorbeur Al (Z = 13) : µ/ = 48,6 cm 2 /g (2z/sin = 88 µm) Absorbeur Fe (Z = 26) : µ/ = 308 cm 2 /g (2z/sin = 4,8 µm) Absorbeur Co (Z = 27) : µ/ = 313 cm 2 /g Absorbeur Ni (Z = 28) : µ/ = 45,7 cm 2 /g Absorbeur Cu (Z = 29) : µ/ = 52,9 cm 2 /g Pour I/I o = 10% z © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 23

24 Application aux filtresApplication aux filtres : Exemple du couple Mo/Zr : Le résultat est une absorption sélective par Zr de K par rapport à K du Mo µ/ cm 2 /g (nm) 0,020,11 Zr Emetteur Mo K K } K LILI L II L III Anticathodes et leurs filtres d'isolement des radiations K pour I K /I K = 600. Anticathode Filtre Epaisseur (mm) Taux de transmission pour K 1 Mo Cu Ni Co Fe Cr Zr Ni Co Fe Mn V 0,108 0,021 0,018 0,016 0,31 0,40 0,42 0,44 0,46 0,50 © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 24

25 Réflexion totaledes RXRéflexion totale des RX : Conséquence de n < 1. Existence dun angle critique de réflexion totale : Sin i = n sinr (r > i) Angle critique si r = /2, i = i c ou = c = /2 - i c Par exemple, avec le rayonnement émis par une anode de cuivre ( = 0,154 nm) et pour un milieu tel que TiO 2, langle critique vaut : c = 0,44°. Se pose alors la notion de la profondeur de pénétration z 1/e (hors absorption). i r / c 1 0 0,51, z 1/e (nm) E = 8 keV Ondes évanescentes Réflexion partielle Notions utiles à la méthode GIXRD pour Grazing Incidence X-Ray Diffraction et pour la mise au point doptiques pour RX. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 25

26 OPTIQUE X 4 possibilités : Optique réfractive - Optique diffractive - Optique réflective - Optique monochromatisante. A) Optique réfractive Malgré lindice proche de 1, il est possible, par association de plusieurs lentilles, de réussir à focaliser des RX. Malgré lindice proche de 1, il est possible, par association de plusieurs lentilles, de réussir à focaliser des RX. Prenons lexemple dune lentille biconcave réalisée par usinage dun trou de 1 mm de diamètre dans un bloc métallique. La distance focale de cette lentille est voisine de 25 m ( 10 5 dans laluminium pour un photon K du cuivre de 8 keV). Des lentilles réfractives sont à létude en incluant des bulles dair dans un capillaire rempli dun liquide adhésif (Ex. : 102 microlentilles focalisent les RX sur 5x19 µm 2 un faisceau de taille 0,4x1,7 mm 2 au synchrotron, avec une transmission de 30%). © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 26

27 B) Optique diffractive Utiliser la cohérence des ondes et le phénomène de diffraction par un réseau zoné. 1 µm Condenseur (lentille de FRESNEL de grande ouverture numérique) Objectif (lentille de FRESNEL de haute résolution) Objet Détecteur CCD Anneau de phase Faisceau occulté Lentille de Fresnel Il existe de vrais microscopes X en sortie des lignes de lumière de certains synchrotrons (ESRF, SOLEIL) (résolution attendue 5 nm) (Voir cours doptique physique). Le pouvoir séparateur théorique est : d LF = 1,22 R /k R N = largeur de la dernière zone 20 nm) k = ordre (impair) du réseau. © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 27

28 C) Optique réflective Utiliser la propriété de la réflexion pour focaliser un faisceau divergent. Faisceau X incident Faisceau focalisé Miroir de BRAGG-FRESNEL ~ 20 cm Faisceau doublement divergent Miroirs courbes croisés Montage de Kirkpatrick-Baez (focalisation 2D) S S A Faisceau X Cercle de focalisation B Méthode de larc capable Focalisation 1D Réflexion sur surface courbe Miroir ellipsoïdal ou parabolique (miroir de Göbel) Ex : Ligne ID19 de l ESRF en 2005 : taille de faisceau = 80 nm © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 28

29 Optique mono-capillaire : Utiliser la réflexion totale Optique poly-capillaire (lentille Kumakhov) Microcanaux mis en forme pour former des lentilles focalisantes ou des semi-lentilles (faisceau sortant parallèle) Semi-lentille capillaire Lentille capillaire focalisante (micro-foyer pour DRX ou XRF) Simple réflexion Multiples réflexions S S Echantillon © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 29

30 D) Monochromateur et Optique multi-couche Principe : Utiliser la diffraction (réflexion) de Bragg par un cristal ou un multicouche. S S' (0002) Monocristal de graphite C 2 C 1 Cercle de Rowland Multicouche (pour spectroscopie WDX ou synchrotron à basse énergie - Miroirs de Bragg) Monochromateur pour DRX = Montage de Johan (simple courbure) ou de Johansson (courbure + usinage cylindrique) Exemple : Anode Cuivre + Monochromateur Graphite (0002) : = 13°28 Monochromateur avant ou monochromateur arrière (filtrage de la fluorescence) Matériaux très différents (Ex. : W/C) © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 30

31 E) Fente de Soller (collimateur) Utilisées pour limiter la divergence des faisceaux = jeu de lames de cuivre qui absorbent les rayons divergents. Le faisceau du tube et lentrée du détecteur sont rectangulaires (pour une augmentation de lintensité), doù une divergence transversale qui entraîne une distorsion des pics (double correction avant et arrière). Tube X Fente Détecteur Echantillon Sans fentes de Soller arrière Détecteur Cône de diffraction 2. Avec fentes de Soller arrière Détecteur Cône de diffraction 2. Fentes de Soller avant Fentes de Soller arrière Cônes de diffraction Echantillon Faisceau X incident Fente dentrée ou fenêtre du détecteur © [C.Esnouf], [2011], INSA de Lyon, tous droits réservés 31 FIN de cette partie FIN de cette partie Séminaire suivant : « Méthode des poudres en DRX » Séminaire suivant : « Méthode des poudres en DRX »


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