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1 De la physique à la microélectronique Invention du transistor Fabrication d un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du.

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1 1 De la physique à la microélectronique Invention du transistor Fabrication d un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du transistor Les vues symboliques

2 2 Objectifs Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS. Nous comprendrons son mode de fonctionnement en interrupteur ouvert ou fermé.

3 3 Le transistor Bipolaire J. Bardeen, W. Shockley, W. Brattain Reçoivent en 1947, 10 $ pour la découverte du T bipolaire. en 1956 le prix Nobel. W. Shockley rédige la théorie en Définitions Le transistor métal-oxyde-silium ou MOSFET. Un cristal de silicium riche en trous est une région P Une region riche en électrons est une région N

4 4 Le tout premier transistor

5 5 Microprocesseur

6 6 Fabrication dun transistor MOS Silicium P

7 7 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Oxyde Oxydation de champ

8 8 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Masque 1 : Oxyde de grille

9 9 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Gravure, oxydation de grille

10 10 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Dépôt de Métal Métal

11 11 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Masque 2 : Grille

12 12 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Attaque métal et oxyde Métal

13 13 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Implantation Récuit Métal P P P P P P P P P P P P P P P P P

14 14 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Métal P P P P P Implantation Récuit n+

15 15 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Métal Zone disolation n+

16 16 Fabrication dun transistor MOS Silicium P Dépôt Métallique Masque 3 : interconnexion Métal Zone disolation n+

17 17 Vue symbolique Métal : Bleu Oxyde : Rouge Semiconducteur : Vert

18 18 Fonctionnement du transistor Rappels :

19 19 Fonctionnement du transistor Source Drain

20 20 Fonctionnement du transistor Source Drain V. Grille < V. Seuil

21 21 Fonctionnement du transistor Source Drain Transistor passant V. Grille > V. Seuil

22 22 La physique du transistor Zone désertée Zone désertée Bande interdite Électrons Bande de conduction Bande de valence Trous

23 23 La physique du transistor Zone désertée Zone désertée Bande interdite Électrons Bande de conduction Bande de valence V. Grille < V. Seuil

24 24 La physique du transistor Zone désertée Zone désertée Bande interdite Électrons Bande de conduction Bande de valence V. Grille > V. Seuil

25 25 Vues symboliques Transistor ouvertfermé


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