Compte rendu du TP N°4 Modes de vibration d’une micro poutre en silicium Par Souissi Meriem
But du TP Réalisation d’une micro-poutre en silicium avec des condition de bord « Encastrée-libre ». Simulation de vibration de la poutre par le logiciel Comsol pour les premiers modes d’oscillation. Etude en fonction de la longueur de la poutre.
Dimension de la poutre Conditions au bord de la Poutre « Encastrée-libre » Face 2 fixée Matériau avec élasticité linéaire: En silicium (rho=2329 kg/m^3, E=170 10^9 Pa; nu=0.28),
Maillage : forme tétraèdre, structure extra fine
Premier mode de vibration :
Deuxième mode de vibration
Fréquence fondamentale en fonction de la longueur de la poutre. L (µm) ,00 Hz ,50 Hz ,56 Hz ,88 Hz ,76 Hz ,39 Hz