Capteur pour le monitoring de la qualité de l’eau et la qualité de l’air Tayeb MOHAMMED-BRAHIM.

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1 Capteur pour le monitoring de la qualité de l’eau et la qualité de l’air Tayeb MOHAMMED-BRAHIM

2 Équipe de recherche IETR : Institut d’Electronique et de Télécommunications de Rennes UMR n°6164 : Université de Rennes 1, INSA, SUPELEC, CNRS Equipe «Microélectronique» Axes de recherche: Dispositifs et circuits couches minces Micro technologie : capteurs et actionneurs Elaboration de couches minces  caractérisation des circuits (salle blanche)

3 Description de la technologie > Elément sensible : Transistor FET à grille suspendue > Mesure de la concentration de charges électriques dans une ambiance liquide ou gazeuse G D S Substrate G D S G D S GlassSubstrate Undopedpoly-Si G D S Substrate G D S G D S GlassSubstrate Undopedpoly-Si + + + +

4 Avantages > Elément sensible : > Dimensions réduites : 500 x 500 x 1µm > Sensibilité élevée : 285mV/Ph > Un capteur (ou micro-capteur) = un ou plusieurs transistors > redondance, fiabilité … > Alternative aux capteurs actuels (colorimétrique, électrochimique, infrarouge) > Mesure en continu vs Mesure ponctuelle > Flexibilité d’intégration

5 Applications potentielles > Capteur d’ambiance > Système de mesure en continu de rejets gazeux > Capteur / Système de mesure en continu du pH de l’eau > Eléments déjà détectés / mesurés : > Fumée, humidité, pH, NH3, NO2

6 Industries/marchés visés > Industries agro-alimentaires : > Mesure des rejets azotés : eutrophisation, acidification, altération des matériaux … > Directive 2007/43/EC appliquée à partir de juillet 2010 : seuls les élevages avicoles dont les concentrations en NH3 seront inférieurs à 20ppm pourront élever des poulets à la densité de 39 kg/m² au lieu de 33kg/m² pour les autres. > Laboratoires d’analyse des eaux / Fournisseurs d’eau > Concepteurs / Fabricants / Fournisseurs de capteurs / systèmes de mesures

7 État de la propriété intellectuelle > Brevet FR2872914 déposé le 07/07/2004 > Extensions US, CA, JP, CN, RU, EAU, EP Partenariat industriel possible Technologie accessible sous licence

8 Contact Adrien GUIHAIRE  : 02.23.23.36.57  adrien.guihaire@bretagne-valorisation.fradrien.guihaire@bretagne-valorisation.fr