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Compte rendu du TP N°4 Modes de vibration d’une micro poutre en silicium Par Souissi Meriem
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But du TP Réalisation d’une micro-poutre en silicium avec des condition de bord « Encastrée-libre ». Simulation de vibration de la poutre par le logiciel Comsol pour les premiers modes d’oscillation. Etude en fonction de la longueur de la poutre.
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Dimension de la poutre Conditions au bord de la Poutre « Encastrée-libre » Face 2 fixée Matériau avec élasticité linéaire: En silicium (rho=2329 kg/m^3, E=170 10^9 Pa; nu=0.28),
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Maillage : forme tétraèdre, structure extra fine
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Premier mode de vibration :
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Deuxième mode de vibration
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Fréquence fondamentale en fonction de la longueur de la poutre. L (µm) 100 5518094,00 Hz 200 1379523,50 Hz 300 613121,56 Hz 400 344880,88 Hz 500 220723,76 Hz 600 153280,39 Hz
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