Micro-Usinage sur SiC.

Présentation au sujet: "Micro-Usinage sur SiC."— Transcription de la présentation:

1 Micro-Usinage sur SiC

2 Introduction Objectifs du stage Travaux préliminaires
Les étapes du process L’étape d’insolation Exemple d’interprétation des mesures d’épaisseur. La métallisation La gravure sur SiC Conclusion

3 Objectifs

4 Travaux préliminaires
Elaboration des masques Choix du métal : NiCr

5 Quelques étapes du process

6 L’étape d’insolation

7 Interprétation des mesures d’épaisseur (1/2)

8 Interprétation des mesures d’épaisseur (2/2)

9 Métallisation / Gravure : Définitions
Le plasma La source RF.

10 La métallisation

11 La gravure sèche (par plasma)
Pourquoi la gravure sèche? Difficultés posés.

12 Principe d’une gravure sèche

13 Mécanismes de la gravure sèche

14 Gravure Ionique Réactive (RIE)

15 Gravure ECR (celle utilisée) :
Taux d’ionisation plus élevé. Travail sous pression plus basse. Création plasma et accélération des ions séparées.

16 Bâti de gravure ECR

17 CONCLUSION