Télécharger la présentation
La présentation est en train de télécharger. S'il vous plaît, attendez
2
DESCRIPTION DES BESOINS Mesurer la planéité des CCD Mesurer la coplanarité de plusieurs matrices Mesures à chaud Mesures à froid
3
ENUMERATION DES SOLUTIONS Zygo et Wyko Triangulation laser Système à reconnaissance de formes Microscope Stéréoscope (planomètre)
4
DESCRIPTION DU PLANOMETRE Schéma de principe Cas 2 Cas 1 Cas 3
6
DEUX MODES POSSIBLES Mode subjectif -A chaud -Réglages primaires des tables -Pleine lumière -Premières mesures Mode objectif –A froid –Réglages fins –Mesures précises (± 5 µm) –Système d’éclairage –Obscurité
7
Etat d’avancement Optique Mécanique Pilotageinformatique Electronique Traitement des données Précision Terminée Terminé Terminée Méthode estimée Mesurée ±5µm
Présentations similaires
