P ôle F rancilien M icrosystèmes ENS - Cachan SMC Un pôle regroupant des compétences & des moyens complémentaires. Univ. Paris Sud IEF Groupe ESIEE LSM.

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1 P ôle F rancilien M icrosystèmes ENS - Cachan SMC Un pôle regroupant des compétences & des moyens complémentaires. Univ. Paris Sud IEF Groupe ESIEE LSM Centrales technologiques Microsystèmes à applications optiques Conception & réalisation - de (micro)systèmes - de lélectronique associée Caractérisation Modélisation Procédés spécifiques (gravure profonde,...) Assemblages hétérogènes (Back-end,...) Matériaux passifs & à mémoire de forme Structuration 3D de la surface Matériaux actifs Transducteurs Sol-Gels Photosensibles Microsystèmes à fonctions Hyper Communication & Traitement du signal

2 Objectifs du PFM Regroupement des compétences et des moyens Appels doffre des instances régionales nationales européennes Conventions spécifiques avec des industriels Entreprendre des programmes de recherche plus ambitieux Définir une politique dinvestissement concertée Organiser la formation en microsystèmes Concevoir et étudier la faisabilité de démonstrateurs innovants PFM

3 Enseignement Partenariat industriel Étude de cas & de faisabilité Conception & Prototypage Transfert de technologie Offre dexpertise 2 e cycle 3 e cycle Formation Continue Matériaux pour les microsystèmes Développement de technologies Micro-actionneurs déformables Électronique des microsystèmes Microsystèmes autonomes Capteurs intelligents Réseaux de capteurs Recherche Le PFM : Une organisation pour une triple finalité socio-économique