Présenation GDRMACS-IMS2 Samuel BASSETTO Le 10 Juin

Contexte – La production de semi-conducteurs (1/3) • Quelques chiffres sur les procédés: – 90, 65, 45nm signifient les dimensions critiques des oxydes de gr ille des transistors. Elles sont à +/- 4,3,2, nm. – Certains procédés déposent une couche mince et homogène (de quelques Å à +/- 1 ou 2 Å) sur une surface d’une plaque de 300mm de silicium. – Le procédé est très sensible à toute dérive. La variabilité est un cauchemar à maîtriser. • Organisation: – Industrialisation: un projet d’un coût ~1 Milliard d’ € – Organisation en technologies (base pour plusieurs familles de produits) – Durée de développement [1-2] ans => fenêtre de marché : [2-4]ans

Contexte - La production de semiconducteurs (2/3) 3

cartes de contrôle Contexte - La production de semiconducteurs (3/3) • Agencement basé sur des ateliers de fabrication • 1semaine < Temps de Cycle < 2 Mois • 1 Gamme : ~400 opérations de fabrication+ 200 opérations d’inspections • Maîtrise apparaît à plusieurs niveaux : • Produit = Tests d’acceptance • Processus = MSP (produits + NPW) + R2R (régulation) + PT (intégration locale) • Machines = FDC(MSP sur machines) + Alarmes + maintenance • Organisationnelle = AMDEC, Gestion des changements, Améliorations continue (8D), Cadrage et jalonnement de l’industrialisation, qualification fournisseur et matières premières. Dispositifs de contrôle EWS PT … SPC R2R FDC PM… Erreurs de type IIBrèches locales Evènements non désirés détectés Brèche globale Evènements non désirés non détectés

Problèmes 5 Dispositifs de contrôle EWS PT … SPC R2R FDC PM… Erreurs de type IIBrèches locales Evènements non désirés détectés Brèche globale Evènements non désirés non détectés Protections conçues indépendamment les unes des autres Incohérences et redondance dans les dispositifs Quantité de matériaux à risques non maîtrisé (surtout ds le cas d’ateliers et de forte diversité) Règles d’arbitrage entre l’importance des contrôles Rapidité de détection…aléatoire Utopie de centralisation et d’homogénéisation des données Analyse de données difficile, apprentissage faible Forte sensibilité à la gestion de production

AtelierAtelier 6 Example 1 – Conditions initiales T1T1 T2T2 T3T3 L1L1 L2L2 L3L3 L4L4 L5L5 L6L6 L7L7 L8L8 L9L9 L 10 TCTC Hypothèse 1: chaque mesure a une profondeur telle qu’elle lève l’incertitude sur la qualité des machines ayant effectuées des opérations sur le produit observé Hypothèse 2: Les lots sont indicés en fonction de leur introduction en fabrication (pas de prod. par 4 par exemple, qui compliquerait encore les tâches)

Les gammes f=1/3 L1L1 L2L2 L3L3 L4L4 L5L5 L6L6 L7L7 L8L8 L9L9 L 10 T2, T3, T3, T1 T2, T3, T1, T1 T1,T3, T1, TC, T1 T1, T3, T2, T1 T1, T3, T3, T2 T1, T3, T3, T1, TC T2, T3, T1, T1 T2, T3, T3, T1 T2, T3, T1, TC, T1 T2, T3, T3, T1

Illustration 8

Idée… • Court terme : – Agir sur un « besoin de maîtrise » pour décider localement de la réalisation ou non d’une mesure et d’une éventuelle action. • Moyen terme : – Construire l’action dynamiquement. 9

MERCI POUR VOTRE ATTENTION 10