De la physique à la microélectronique Invention du transistor Fabrication d ’un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du transistor Les vues symboliques
Objectifs Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS. Nous comprendrons son mode de fonctionnement en interrupteur ouvert ou fermé.
Le transistor Bipolaire J. Bardeen, W. Shockley, W. Brattain Reçoivent en 1947, 10 $ pour la découverte du T bipolaire. en 1956 le prix Nobel. W. Shockley rédige la théorie en 1951. Définitions Le transistor métal-oxyde-silium ou MOSFET. Un cristal de silicium riche en trous est une région P Une region riche en électrons est une région N
Le tout premier transistor
Microprocesseur
Fabrication d’un transistor MOS Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Oxydation de champ Oxyde Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Masque 1 : Oxyde de grille Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Gravure, oxydation de grille Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Dépôt de Métal Métal Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Masque 2 : Grille Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Attaque métal et oxyde Métal Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS P P P P Implantation Récuit P P P P P P P P P P P P P Métal Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Implantation Récuit P P P P P Métal n+ n+ Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Métal n+ n+ Zone d’isolation Silicium P
Fabrication d’un transistor MOS Dépôt Métallique Masque 3 : interconnexion Métal n+ n+ Zone d’isolation Silicium P
Vue symbolique Métal : Bleu Oxyde : Rouge Semiconducteur : Vert
Fonctionnement du transistor Rappels : - - - - -
Fonctionnement du transistor Source Drain
Fonctionnement du transistor Source V. Grille < V. Seuil Drain - - - - - - - - - - - - - -
Fonctionnement du transistor Source V. Grille > V. Seuil Drain Transistor passant
La physique du transistor Électrons Bande interdite Bande de conduction Trous Zone désertée Zone désertée Bande de valence
La physique du transistor V. Grille < V. Seuil Électrons Bande interdite Bande de conduction Zone désertée Zone désertée Bande de valence
La physique du transistor V. Grille > V. Seuil Électrons Bande interdite Bande de conduction Zone désertée Zone désertée Bande de valence
Transistor ouvert fermé Vues symboliques Transistor ouvert fermé