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La Plate-forme Caractérisation du LAAS-CNRS Electrique Hyperfréquences Optique Microsystèmes.

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1 La Plate-forme Caractérisation du LAAS-CNRS Electrique Hyperfréquences Optique Microsystèmes

2 La caractérisation aujourdhui ElectriqueHyper-fréquencesOptique Micro- systèmes Surface 160 m²210 m²230 m²210 m² Types de mesures - Tests paramétriques - Mesure dimpédance - Caractérisation de substrats et composants discrets - Mesure de bruit - Mesure param. S - Test de fiabilité de commutateurs MEMS - Mesures DC : impulsion, continu et analyse impédance basse fréquence) - Mesures hyper-opto - Une zone dassemblage -Tests paramétriques (puissance, V(I)) - Caractérisation composants - Spectroscopie - Réflectivité - Photoluminescence - Diffraction - Caractérisation mécanique - Microsystèmes pour la chimie et la biologie - Systèmes de dépôts - Caractérisations spécifiques Budget Fonction. (06-07) 220 k hors achat déquipement Budget Équipement Plusieurs millions deuros Personnel 6 ingénieurs et techniciens en support IG 150 utilisateurs (chercheurs, doctorants, extérieurs)

3 Mesures I(V) sous pointes: Max 10A ou 1kVMesures sous pointesI(V) de composants en boitier : -75°C < T < +225°C Microscope à force atomiqueThermographie Infra-Rouge : Tmax:1400°C Résolution: 10µm, Sens: 12mK, Fmax: 22kHz Caractérisation électrique Caractérisation physique Profilomètre optique : résolution : 1µm en X,Y et 1nm en Z Quelques exemples… électriques

4 1 mm Fiabilité de commutateurs micro-usinés 0 l w Caméra IR Quelques exemples…hyperfréquences

5 Quelques exemples…optiques Photoluminescence UV et gain Diodes Laser Guidage Photoluminescence Basse température Test de microsystème optique pour application médicale

6 Quelques exemples…microsystèmes Matrice de micro-éjecteurs (MIS) Micro-leviers (Nano) Ion Sensitive Field Effect Transistor (M2D) Micro-miroirs (MIS) Matrice de membranes (Nano) Capteur de gaz (M2D)


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