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Plate forme de caractérisation Née il y a 10 ans Électrique Hyperfréquence Optique Microsystèmes Organisation et fonctionnement.

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Présentation au sujet: "Plate forme de caractérisation Née il y a 10 ans Électrique Hyperfréquence Optique Microsystèmes Organisation et fonctionnement."— Transcription de la présentation:

1 Plate forme de caractérisation Née il y a 10 ans Électrique Hyperfréquence Optique Microsystèmes Organisation et fonctionnement

2 Locaux

3 Quelques exemples… électriques 3/11 très faible courant sous pointes mode manuel Résolution = 1fA Vmax = ± 200V Température max = 300°C moyenne et forte puissance mode semi-automatique I max = 10A pulsé, Vmax = 1kV Température max = 225°C Caractérisation I(V) Fréquence max = 110 MHz Vmax = ± 42V Mesure dimpédances Effet Hall Mesure de résistivité de 0.1M / à 100G / Aimant de 0.32T Température : ambiante et 77°K

4 Quelques exemples… électriques 4/11 Stress TLP (impulsion de 100ns, 7A) Very-Fast TLP (5ns, 20A) HBM Mesure EMMI (Emission MIcroscopy) dune structure de protection ESD durant un stress TLP Test sous pointes aux Décharges électrostatiques (ESD)

5 Quelques exemples…hyperfréquences Mesure de bruit Fiabilité MEMS BF > 1Hz, HF 1Hz, HF < 40GHz + bruit de phase 6w à 10GHz + caméra IR 0 l w

6 Quelques exemples…hyperfréquences Mesure de paramètres s Sous pointes 110GHz, sous pression de 6 bars

7 7/11 Quelques exemples… optiques Photoluminescence UV et gain Diodes Laser Application à loptique ophtalmique Laboratoire commun LAAS-ESSILOR Expérimentation mutualisée Caractérisations de composants Laser semi-conducteur III-V Microlentilles polymères Diamètre 40µm Diffraction / Diffusion de composants transparents

8 8/11 Développement optique vers les nanobiotechnologies Méthodes optiques pour létude des réplications cellulaires FCS : Fluorescence Correlation Spectrocopy

9 Quelques exemples… microsystèmes 9/11 Par matrice de micro-plumes Par mesure paramètres IS-FET Robot de dépôt Mesure de variation de PH

10 Quelques exemples… microsystèmes 10/11 Mesure optique de déformation de membrane profilomètre

11 Fonctionnement 11/11 Cellule de pilotage : Présidée par le responsable du pôle MINAS, incluant des chercheurs utilisateurs, et les IT affectés à cette PF Support technique : 7 personnes, 5 ETP Réservation : En ligne sur intranet, pour les bancs mutualisés Pour nous joindre :

12 La caractérisation aujourdhui ElectriqueHyper-fréquencesOptiqueMicro-systèmes Surface 160 m²200 m²220 m²210 m² Types de mesures - Tests paramétriques - Mesure dimpédance - Caractérisation de substrats et composants discrets - Mesure de bruit - Mesure param. S - Test de fiabilité de commutateurs MEMS - Mesures DC : impulsion, continu et analyse impédance basse fréquence) - Mesures hyper-opto - Une zone dassemblage -Tests paramétriques (puissance, V(I)) - Caractérisation composants - Spectroscopie - Réflectivité - Photoluminescence - Diffraction - Caractérisation mécanique - Microsystèmes pour la chimie et la biologie - Systèmes de dépôts - Caractérisations spécifiques Budget Fonctionnement 100 k hors achat déquipement Budget Équipement 6 millions deuros Personnel 5 équivalents temps plein, ingénieurs et techniciens, en support IG 200 utilisateurs (chercheurs, doctorants, extérieurs)


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