RENATECH network Caroline BOISARD Responsable de projet CNRS 24/03/2014 The French micro and nanofabrication network for innovation RENATECH network Caroline BOISARD Responsable de projet CNRS 20 mars 2014 Je m’appelle Caroline Boisard et je suis en charge depuis un peu plus d’un an de la coordination administrative du réseau des plateformes en micro et nanotechnologies du CNRS appelé – Renatech Et c’est donc ce réseau que je vais vous présenter Je présente le plan

Sommaire Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Sommaire Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème ‘’Nano’’ RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau - et je terminerai en vous présentant les actions Renateche en

24/03/2014 Nanomètre 1 nm = 10-6 mm Même ratio entre la terre et une orange qu’entre une orange et un nano objet Avant d’entrer dans le vif du sujet je vais préciser quelques notions sur des termes que vous entendrez durant ma présentation 1 nm c’est 10-6 mm 1 micron = 10-3 mm Et pout illustrer mes propos on a le même rapport entre la terre et une orange que cette même orange et un nano objet

Définition: Salle blanche 24/03/2014 Définition: Salle blanche Qu’est ce qu’une salle blanche ? Une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis définition selon la norme ISO 14644-1 Comment ? L’air entrant est filtré Ensuite qu’est ce qu’une salle blanche ? C’est une salle où atmosphère est contrôlée en température, hydrométrie et nombre de poussière par unité de volume. En gros c’est une pièce ou la concentration de particule est maitrisée Comment ? L'air entrant dans la salle blanche peut être filtré selon différents niveaux de tailles d'éléments indésirables

24/03/2014 Une salle blanche En image, voilà à quoi ressemble l’intérieur d’une salle blanche….

24/03/2014 Au dessus Et à quoi ressemble le dessus d’une salle blanche.

Sommaire Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Sommaire Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème ‘’Nano’’ RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - je terminerai en vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau

Historique : le programme RTB 24/03/2014 2003: Lancement du programme national RTB “Recherche en technologies de Base” ”Doter la France d’une infrastructure capable de répondre de façon performante et au meilleur coût possible aux besoins de recherche de l’innovation en micro et nanotechnologies” porté par le CNRS et le CEA CNRS: 6 centrales réparties sur toute la France  GIS RENATECH Infracstructure académiques de taille moyenne (900  1500 m² de salle blanches) CEA: 1 centre (Leti) ) à Grenoble Très grande infrastructure (wafer de 200 à 300 mm) dédiée à l’innovation et au transfert vers l’industrie Tout a commencé en 2003 quand le Ministère de l’enseignement supérieur et de la recherche a lancé le programme RTB – Recherche en Technologie de Base dont l’objectif est de doter la France d’une infrastructure nationale capable de répondre de façon performante et au meilleur cout possible aux besoins de recherche de l’innovation en micro et nanotechnologies En résumé ce programme finance des équipements de pointes en M&N techno Ce programme est opéré par l’ANR et le CNRS au travers des 6 centrales/salles blanches qui constituent le réseau RENATECH et le CEA LETI en sont bénéficiaires.

24/03/2014 Missions Promouvoir une recherche au meilleur niveau mondial dans le domaine des nanosciences Rationaliser le parc technologique en France Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques qu’ils soient académiques ou industriels Elaborer une stratégie nationale d’achat d’équipements lourds Promouvoir les nanos sciences en France - Promouvoir une recherche au meilleur niveau mondial dans le domaine des nanosciences Rationaliser le parc technologique en France Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques qu’ils soient académiques ou industriels - Elaborer une stratégie nationale d’achat d’équipements lourds - Promouvoir les nanos sciences en France Evaluation annuelle auprès d’un panel international

L’ « écosystème » de la recherche en micro&nano 24/03/2014 L’  « écosystème » de la recherche en micro&nano Program RTB 7 centrales ( CNRS-RENATECH ; CEA LETI) 15.000 m² de salle blanche (7.000 CNRS-8.000 CEA) pour la micro&nano fabrication et la nano charactérisation 7000 chercheurs+ 250 laboratoires Ouvert aux académiques et industriels, nationaux et inernationaux Centrales de proximité 9 plateformes 3.000 m² de salle blanche OMNT – Observatoire de la micro et nanotechnologie Veille scientifique Analyse de l’état de l’art Vous avez là un panorama de l’écosystem de la recherche nano en France Les Nano c’est déjà 7000 chercheurs et 250 labo qui œuvrent dans les nano Il y a donc le dispositif RTB qui finance des équipements de point dans 7 centrales. Ce qui représentent 15 000m² dont 7000m² pour le CNRS Sur la carte, les centrales RENATECH sont en rose et le CEA LETI en vert Ce dispositif est complété par les centrales de proximités, les points noirs sur la carte, qui peuvent disposer de spécificités technologiques complémentaire au réseau La veille est assurée par l’UMS INSIS : l’OMNT Et les CNANO assure l’animation scientifique. CNANO est structuré nationalement et régionalement Cnano (Structuration nationale & régionale) Animation scientifique Dissémination de l’information Formation

Chaine de développement 24/03/2014 Disruptive Concepts New Products Proprietary Open Academia IP Integration Lab Volume Manufacturing Industrial R&D Leti Technology Transfer Product Development RENATECH Ce graphique vous montre ou se situe Renatech dans la chaine de développement d’un nouveau « produit » ou concept Là on voit bien que R est à la rupture d’un développement techno, scientifique / concept d’innovation Qui est repris et intégré par le CEA qui le transfert ensuite dans le monde industriel

Sommaire Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Sommaire Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème ‘’Nano’’ RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - je terminerai en vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau

140 ingénieur & techniciens RENATECH: infrastructure pour la micro- nano fabrication et charactérisation 6 Plateformes 7000 m² de salles blanches 140 ingénieur & techniciens Et là on arrive au réseau Renatech Qui est composé de 6 centrales disséminées dans toute la France : - IEMN à Lille - IEF et LPN à Orsay et Marcoussis - FEMTO à Besançon - LTM à Grenoble - LAAS à Toulouse Pour un total de 7000m² On compte 140 ingénieurs et techniciens qui gèrent les salles blanches Et 1000 utilisateurs chaque année 1000 utilisateurs par an

Président du GIS : Michel de Labachelerie GIS RENATECH 24/03/2014 Porté par le CNRS : Laurent Nicolas (DAS) Isabelle SAGNES (CM) Caroline BOISARD (CP) Piloté par : INSIS/INP Universités tutelles des 6 laboratoires Président du GIS : Michel de Labachelerie Le réseau est structuré en GIS entre le CNRS (INSIS et INP) qui le pilote et les tutelles des 6 laboratoires concernés. Le président du GIS est MdB Au sein de l’INSIS, le GIS est suivi par Laurent Nicolas le DAS de la section 8, animé scientifiquement par MdB et IS, qui est chargée de mission nano pour l’INSIS. Et comme je vous le disait, je suis en charge de la coordination administrative du réseau.

Budget et couts 6,3 M€ /an<= > 906€/m² 2 M€/an 8,4 M€/an 24/03/2014 Valeur des équipements : 126 M€ Coût des INFRASTRUCTURES en 2014 (sans projet scientifiue) 6,3 M€ /an<= > 906€/m² Coût d’exploitation (projets scientifiques) 2 M€/an Coût de personnel (~ 140 IR & Techniciens) 8,4 M€/an 2014 BUDGET TGIR 2014 : 3 717 K€ CNRS & Universtités= 59% (coûts fixes ) 3,282 M€ CNRS 0,435 M€ Universités Utilisateurs RENATECH= 41% 2,3 M€ INVESTISSEMENT 10% du parc à renouveler chaque année soit 12 M€/an Renatech c’est un 126 millions d’équipement Le buget Renatech octroyé par l’ANR (programme RTB) : s’élève à 2,16 millions d’euros pour l’année 2013 Le budget TGIR 2014, octroyé par le CNRS sur l’enveloppe IR et dédié au fonctionnement s’élève quand à lui à 3 717 000 € Vous voyez que le budget RTB ne cesse de baisser Le cout des infrastructures des salles blanches sans projet scientifique s’élève à 6,3 Million d’euros pas an ce qui ramené au m² coute 906€ Auquel il faut ajouter 2M € pour la mise en œuvre des projets scientifiques Et les frais de personnel des 140 ingénieurs et techniciens : 8,4M/an Et sur la totalité du parc, on doit renouveler 10% du parc chaque année soit 12M/€

Domaines des recherche 24/03/2014 Nanoelectronics / Spintronics Photonics MEMS / NEMS / MOEMS / Acoustics Micro-Nano for Biology Characterisation / Instrumentation CMOS scaling Beyond CMOS High performance micro-light sources Integration of SAW & BAW components on silicon Free labelling and high sensitivity detection Characterization of integrated nanomaterials Low power reliable electronics On-chip photonic systems Ultra-integrated RF acoustic devices using phononics crystals Full integration of biological or chemical analysis protocol in a micro-system Real time, in-situ analysis Logic & analog circuits Devices for mechanical-electrical energy generation & conversion Multiscale approaches for nano materials, nano devices and micro/nano systems Nanomagnetism Multifunction integrated sensors Je vais vite passer sur ces deux slide mais retenez que la recherche au sein du réseau est organisé en 5 thématiques : - Nanoelectronic et spintronic - Photonic - MEMS NEM MOEMS Acoustic - Micro et nano pour la biologie - Charactiserisation et instrumentation

Equipements principaux 24/03/2014 Lithography Deposition Material/Growth Etching Characterization / Metrology Integration Photolitography (UV & deep-UV) Evaporation MBE Chemical etching Optical microscopy Packaging Electron-beam lithography Sputtering CVD Reactive Ion etching Scanning probe microscopy Wire bonding Laser Chemical synthesis SEM & TEM Dicing Imprint Electro-deposition ALD FIB Profilometry Wafer bonding Inkjet, roll-to-roll Ion implantation Electrical, HF & optical characterizations Flip chip Thermal/Chemical processing Diffraction Et que les équipements sont organisés en ressources classés en 6 catégories : - Lithographie - Dépôt - La croissance - La gravure - La caractérisation et la métrology - Intégration : puisque les centrales ont des compétences en packaging

Chiffes clés sur les projets exogènes 24/03/2014 Je vous rappelle qu’une des missions du réseau est de Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques et industriels Et donc nous ouvrons les centrales aux ingénieurs et scientifiques académiques nationaux et internationaux Depuis la création du réseau, le taux d’ouverture est en constante croissance et représentait en 2013, 444 projets Ce qui représente 11 % de la totalité des projets réalisés dans les centrales en 2013 Et on constate que 2/3 des projets sont conduits avec des dévelopements

200€ petit projet 1/2 journée 24/03/2014 Nos partenaires Chiffres clés 200€ petit projet 1/2 journée 1.6M€ grand projet 8 ans 10 mois Durée moyenne Domaines d’activité Quelques réalisation Biotechnology (3%) High performance infrared detectors for astronomy Optical nano-antenna made by etching for the company Lovalite Chemistry (4%) Earth Science & Astronomy (4%) Physics (19%) Engineering Science (40%) Un projet peu aussi bien être réalisé en une demi journée pour 200€ que se développer pendant plusieurs années. Un des projets a duré 8 ans. Le secteur d’activité des utilisateurs est assez varié. On voit quand même que les utilisateurs utilisateurs oeuvrent dans le domaine de l’ingénierie Other (25%) Autonomous pressure and temperature sensor made with the company Schrader High fidelity micro speaker made with ST-Microelectronics Greater data conservation with saphir micro-eching for the company ARNANO

Contents Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Contents Le programme RTB Histoire et missions ‘’Nano’’ ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - je terminerai en vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau

© Usine Nouvelle David Cresbron 24/03/2014 Les services Accès à la fabrication technologique Service de réalisation de micro et nanocomposants et systèmes Support pour la R&D Conseils technologiques Solutions techniques Accès encadré à des équipements de pointe Formation Les clients sont formés pour êtres des utilisateurs autonomes © Usine Nouvelle David Cresbron Services sur mesure Recherche de financement Vision de l’état de l’art Identification de partenaires … Les activités que proposent RENATECH sont centrées autour du service de réalisation de micro et nano composants et systèmes. Il est donc possible d’avoir un accès à des équipements de pointe ou bénéficier des services d’une équipe qui assiste les utilisateurs dans la réalisation de leur R&D et les procédés technologiques. Autour de cette activité, nous proposons un support pour la R&D avec des études de faisabilité, des conseils technologiques et des préconisations sur les solutions techniques les plus pertinentes pour les projets. De plus, Renatech propose de former les utilisateurs externes sur les instruments afin qu’il puisse être des utilisateurs autonomes. Ces formations sont particulièrement pertinentes lorsque l’utilisation des instruments devient régulière. Enfin, Renatech propose des services sur mesure afin d’appuyer les démarches de recherche de financement pour vos projets technologiques, pour fournir une vision globale de l’état de l’art sur une technologie ou une fonction données.

24/03/2014 Process Pour bénéficier de nos services, le procédé est très simple. Tout d’abord, le demandeur se connecte sur notre portail web renatech.org et donne une description de ses besoins. Dans un premier temps, ON réalise une étude de faisabilité du projet. Les ingénieurs du réseau donneront suite en indiquant la centrale et les experts les plus pertinents pour le projet. On définira également si l’’utilisateur utilisera lui les équipements après une formation ou si la prestation sera réalisée par les ingénieurs de la central. Le périmètre précis et les objectifs de du service seront alors déterminés. Ceci permettra alors d’élaborer le plan d’action en leur donnant les instruments à utiliser, le prix de la prestation, ses livrables et le planning associé. Le prix de la prestation est déterminé en gros en fonction de la durée d’utilisation et de la ressource Utilisé. A ce propos, Avec la DSFIM et plus particulièrement le LAAS nous travaillons actuellement sur la mise d’un procédé de calcul de cout harmonisé. Ce procédé sera déployé prochainement dans certaines centrales . Cette question sera développé tout à l’heure par Chantal Chambellan. Vous entrez ensuite dans la phase de réalisation, où les services décrits sur le transparent précédent ont lieu : réalisation des étapes technologiques, formations, conseils techniques et support tout au long du projet. Nous assurons enfin un suivi pendant et après le projet. Grace à des comptes rendus réguliers sur les avancées de votre projet, des questionnaires de satisfaction. Nous organisons également des évènements.

Enquête de satisfaction 24/03/2014 Résultats positifs 98% des objectifs sont atteints 89% des devis sont respectés 89% du planning est respecté 82% des utilisateurs sont satisfaits de la réactivité >35 brevets par an >500 publications par an Utilisateurs = académiques et industriels 450 utilisateurs en 2012 Académiques (84%) Grandes entreprises (76%) Voici les résultats de l’enquête de satisfaction 2013 Les chiffres obtenues sur la satisfaction de nos clients sont ainsi plutôt bons : 98% …. 89% …. Les utilisateurs sont académiques et industriel avec une plus grande proportion d’académiques et les ont y trouve toutes les tailles d’entreprises : grandes entreprises, PME, startup Industriels (16%) PME (14%) Start-up (10%)

Contents Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Contents Le programme RTB Histoire et missions ‘’Nano’’ ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - je terminerai en vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau

Un seul point d’accès http://www.renatech.org 24/03/2014 Un seul point d’accès http://www.renatech.org Courte description des besoins Etude de faisabilité gratuite Planning de travail et devis = Cout d’accès horaire x le facteur de ressource Facturation après la réalisation Rapport (1 page, publications, brevets...), & enquête de satisfaction Pour répondre à la question : comment travailler avec le réseau Sachez qu’il n’y a qu’un point d’accès : un site web renatech.org Sur lequel les utilisateurs s’inscrivent et décrivent leurs besoins A partir de là, le process que j’ai décrit plus tôt commence.

Un accès en quelques clics 24/03/2014 Un accès en quelques clics Voici la page d’inscription Pour contacter le réseau il suffit de s’inscrire sur le portail Renatech

Points de contacts des plateformes 24/03/2014 Points de contacts des plateformes General information

Contents Le programme RTB RENATECH L’offre de RENATECH Accès au réseau 24/03/2014 Contents Le programme RTB Histoire et missions ‘’Nano’’ ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés L’offre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech BIEN LE METTRE A JOUR Je vais donc successivement vous présenter - le programme RTB qui est à l’origine du réseau : son histoire, ses mission et l’écosystème français de le recherche en M&N technologies - Le réseau Renatech : son organisation, ses localisations, le budget et les couts, quelques chiffres clés sur les projets exogènes - je vous présenterai ensuite plus précisément les services offerts par renatech - je terminerai en vous présentant comment les utilisateurs peuvent travailler avec le réseau

Action 2013-2014 Un seul point d’entrée 24/03/2014 Action 2013-2014 Un seul point d’entrée -> Création du portail sur lequel les utilisateurs s’inscrivent http://www.renatech.org Promotion du réseau auprès des PME ->Collaboration avec la CCI de l’Essonne et le réseau EEN -> Réalisation d’une brochure à destination des industriels Collaboration avec Sample of science Harmonisation le calcul du cout d’accès aux plateformes Campagne de sensibilisation « Please mention in the acknowledgment section: » ‘’This work was partly supported by the French RENATECH network’’ Parmi les réalisations du réseau en 2013 et 2014 : Nous avons la mise en place avec l’aide d’un informaticien d’un portail unique d’acces au réseau sur lequel tout utilisateur doit d’inscrire Nous continuons nos efforts pour la promotion du réseau auprès des entreprises et plus particulièrement auprès des PME en nous associant avec la CCI de l’Essonne et le réseau EEN : Ce réseau est un guichet unique qui offre des services sur : - Réglementation européenne - Recherche de partenariats - Financement de projets La CCI nous a aidé à organiser la journée des Users meeting . Qui est une journée de porte nationale puisqu’elle a lieu dans toutes les centrales le même jour. Et grace à l’implication de la Cci de l’Essonne nous avons atirés plus de participants à journée que les années précédantes Nous collaborons également avec Sample of Science qui est un site web qui propose des échantillons à la communauté scientifique. L’idée est de mettre en relation des scientifique qui ont besoin d’’échantillons sans avoir la capacité de les réaliser et des scientifiques qui ont dans leurs placards des échantillons inutilisé. Avec la DSFIM nous avons, et plus particulièrement le LAAS avont travaillé sur l’harmonisation du calcul des couts d’accès aux plateforme. La procédure devrait être déployée au sein du réseau. Ceci vous sera expliqué par Mme Chambelan Enfin, nous avons lancé une campagne de sembilisation auprès des utilisateurs pour qu’ils indiquent dans les remerciements de leurs publication que les résultats sont en partie issue des plateformes Renatech

Plus de 500 publications par an 24/03/2014 Plus de 500 publications par an ... Mais seulement 74 sont indexées. Et néanmoins un vrais progrès (WEB OF SCIENCE) Publications indexées Citations indexées En effet puisque l’on compte en moyenne 500 publications par an alors qu’en 2012 seulement 6 étaient indexées sans les revues de rang A. Cette sensibilisation porte ses fruits car on trouve 60 publications indexées en 2014 et 72 citations du réseau. Nous allons continuer les efforts dans ce sens. Cela est important puisque le réseau est évalué tous les ans par un panel international

Thank you for your attention 24/03/2014 http://www.renatech.org Thank you for your attention Caroline BOISARD Responsable de projet 01 44 96 46 50 caroline.boisard@cnrs-dir.fr