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Midi Pyrénées au cœur de la recherche européenne Hôtel de Région Midi Pyrénées 24 octobre 2011 La plateforme de technologie du CNRS-LAAS.

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1 Midi Pyrénées au cœur de la recherche européenne Hôtel de Région Midi Pyrénées 24 octobre 2011 La plateforme de technologie du CNRS-LAAS

2 PLAN DE LA PRÉSENTATION La plateforme de technologie Les projets soutenus et le réseau Renatech La région Midi-Pyrénées et la plateforme La plateforme dans lespace européen de recherche

3 LA PLATEFORME DE TECHNOLOGIE

4 HISTORIQUE Troisième génération de centrale de technologie au LAAS La première en milieu académique en France 1968 : salle propre : plateforme de technologie 1978 : salle blanche

5 INFRASTRUCTURE 3.7 M (700 m² + bureaux) CPER Ouverture juin M (800 m²+ bureaux) Financement RTB Ressources propres Club des Affiliés Ouverture mai m 2 de salle blanche Classe et 100 Salles dédiées Localement Structure adaptable En épi FFU 4 niveaux

6 Infrastructure et soutien A la Caractérisation Lithographies optique, électronique, laser Traitement thermique Dépôt/croissance de films minces E.J.M. Gravure humide Gravure plasma Electrochimie Implantation Ionique Nano réplication Packaging De la Fabrication des masques – 30 M déquipements – Flexibilité / Répétabilité Equipements manuels / Semi-automatiques /Automatiques – Technologies Si et III-V (Base GaAs) Nouveaux matériaux (GaN, Diamant, polymères, etc..) – Substrats 4 compatibilité jusquà 6 – Développements de technologies alternatives Chimie LES TECHNOLOGIES visite virtuelle :

7 Micro nano fluidique DetectionNano biotechnologies Intégration de nanocanaux fluidiques ADN dans les canaux Microfluidique sur capteurs chemfet Capteur de pression (physiologique Piezo-electrique Optique transduction Electro thermique 20 µm Lithography douce pour le contrale de la mise en forme de macromolécules EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTS

8 MEMSNanotechnologies Integration above IC RF harvester Antenne 160 GHz Filtre Ghz MEMS Reconfigurable 10 GHz à 94 GHz Interrupteur capacitif 10 GHz à 94 GHz Micro capteur de gaz CNT array Capteur de gaz RF Résonateur 3D RF MEMS sur circuit SiGe EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTS

9 Sources optiquesFonctions intégrées Cristal photonique à source l aserDFB Membrane (In)GaAs/AlGaAs GaAs N-DBR P-DBR P Contact AlOx diaphrag SiO 2 Final metal SU-8 40~80-µm SU-8 µ-lense Air bridge VCSEL contact pad Lense SU-8 pedestal Réseau de micro lentilles autocentrées déposées par un microrobot Intégration collective de microlentilles sur Vcsells pour collimation du faisceau EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTS

10 Conversion Intégration de composants passifs Récupération/stockage Super-junction MOS BCBSi 100 µm 70 µm IGBT Filtre LC IGBT Faibles pertes In-situ boron doped polySi 1.5 mΩ.cm substrat silicium dopé Antimoine – 6,5 mΩ.cm SiO 2 (5 nm) / Si 3 N 4 (20 nm) ε r = 3.9 / 7 h w e 0 = 110nm e = 30nm h=40 m w = 10 m µ super capacitors Super condensateurs: Dépôts jet dencre de charbons actifs Varistances: Dépôts jet dencre de particules ZnO MEMS: récupération dénergie de vibration EXEMPLES DE DEVELOPPEMENTS

11 LES PROJETS SOUTENUS LE RÉSEAU RENATECH

12 Support et expertise technologique pour la R&D dans le domaine des micro et nano technologies Opération, adaptation et développement de linfrastructure Expertise, management, maintenance et développement des équipements Expertise, mise en œuvre, management, développement de processus Génériques Spécifiques Support des projets de recherche Des groupes de recherche du LAAS 80 projets (2011) Projets exogènes 60 projets (2010) Formation. Capitalisation, valorisation, transfert de compétences LES MISSIONS

13 MEMBRE DU RESEAU RENATECH 6 Laboratoires CNRS IEMN (Lille) LAAS (Toulouse) FEMTO (Besançon) FMNT-INAC (Grenoble) LPN (Marcoussis) IEF (Orsay) Plateformes de niveau international pour laccueil de partenaires académiques et industriels Expertise technologique Soutien de projets Formation /accueil

14 LACCUEIL DES PROJETS EXOGENES Demande Expertise Formalisation Réalisation Facturation et retour Demandeur extérieur Chercheurs du LAAS ITA du LAAS RENATECH WEB Chercheurs du LAAS ITA du LAAS RENATECH WEB Cellule daccueil RTB 8 personnes Cellule daccueil RTB 8 personnes Nomination dun correspondant RTB Supervision Direction COMTEAM Supervision Direction COMTEAM Régulière Analyse de la nature du soutien Identification de collaborations possibles Groupes - H Granier : responsable de la centrale de technologie - M Dilhan : responsable de laccueil RTB - C Fourcade : Accueil RTB - D Bourrier : Electrochimie - PF Calmon : Masques - P Dubreuil : Gravures sèches - L Mazenq : Photolithographie - L Salvagnac : Métallisation

15 EVOLUTION DU NOMBRE DE PROJETS EXOGENES 13 projets en projets en 2010

16 ORIGINE DES PROJETS EXOGÈNES (2010) Industriels Universitaires Aubière Nice Paris Grenoble Lyon Bordeaux Toulouse Montpellier Marseille - LGE - IMFT - LPCNO - IRAP - LCC - LNCMI - ICMCB - ESSILOR - Néosens - 3D+ - INNOPYS - MEAS - LASELEC - Kloé -IMS -ICMCB - LAM - LTTS (CEA) - CRMCN -L2MP -IBS -IRPHE -CMP -St Gaubain -LPMC -CHREA -CEA -IMEP - CIME -AMPERE -Institut Néél -ARNANO --Spintec -LSA -INSA -INL -LPMCN - ESPCI - ENS - Institut Curie - Satie - LMPQ - PECSA - LNE - CNAM - IES - SILOS technologies Rennes - LENS FOTON - INSA Nancy - LPM Lille - IEMN - LASMEA - PHOTONIS - INSAT - IRSAMC - CEMES - LAPLACE - CIRIMAT - ONERA - LGC -UPS -InEss --IPCMS -Biomérieux - 3D+ - MBDA - EDF - ACM FEMTO Besançon

17 LA REGION MIDI PYRENEES ET LA PLATEFORME

18 DIVERSES SOURCES DE SOUTIEN Soutien direct sur linfrastructure et les équipements INFRASTRUCTURE Financement de la plateforme dans le cadre du CPER EQUIPEMENTS Financement de gros équipements Laboratoire commune ESSILOR/LAAS (900 k) Lithographie par projection Cluster dépôts sous vide Projet Detectmune (60k) Microscope à force atomique

19 DIVERSES SOURCES DE SOUTIEN Soutien à travers les projets de recherche 1850 k depuis 2008 Type contratTitre BDIElaboration d'une plate-forme de détection HyperFréquences (HF) pour criblage biologique à haut débit RTTTenue thermique en atmosphère humide des propriétés optiques et mécaniques de la résine SU-8 pour l'intégration dans les microsystèmes de communications optiques RTTInitiateur matriciel pyrotechnique de nouvelle génération RTTOptocontrol RTTFabrication de commutateurs de puissance à base de GaN/Si RTToptophase RTTSources de référence ultra stables à faible température de bruit pour la radiométrie micro-onde. RTTDépôt de Molécules nano-organisées pour microsystèmes. RTTDéveloppement d'un système innovant pour la dosimétrie en radiothérapie Etape 1 : dosimètre in vivo ; mesure de la dose à l'entrée ElectraSMart hARness Technologies EranetSystème d'imagerie millimétrique à base de MEMS IrisArchitecture sans fil de Surveillance de l'Energie à Bord d'un satellite ElectraWireless Intra-aircraft Avionics Transmitters In-flight entertainment Communications at 60 GHz ElectraConvertisseurs pour Récupération d'Energie Multisource Embarquée RTTImpact des techniques d'assemblage sur la fiabilité et le bruit de fonctions hautes fréquences pour télécommunications spatiales RTTDes NAnoparticules au Tatouage Intelligent RTTNez Electronique Intégré RTTCapteur de Gaz à transduction RF BDIParallélisation, déploiement et adaptation automatique de simulation électromagnétique sur une grille de calcul RTTNano Analyse Medicale IrisVersatile & connecting Time-frequency GEnerator SHSStratégies didactiques pour la "promotion" des métiers et filières scientifiques en relation avec les pôles de compétitivité de Midi-Pyrénées : cas des Nanotechnologies

20 LA PLATEFORME DANS LESPACE EUROPÉEN DE RECHERCHE

21 LOUVERTURE VERS LEXTERIEUR Une longue histoire 1968 : Première salle blanche académique en France ouverte aux partenariats A travers des projets collaboratifs : Lune des 6 centrales labellisées par lUE comme une grande centrale de technologie 2003 : Membre fondateur du réseau Renatech Accueil de projets exogènes au-delà des frontières françaises IMPACT offers access to microtechnologies for supporting design and fabrication of your multidisciplinary innovative microsystem projects ESO (Allemagne) Université de Thassalonique (Grèce) Université de Cambridge (Royaume Uni) Université de Chalmers (Suède) HSG IMIT (Allemagne) IMT (Roumanie)..

22 LE PROJET TRAIN² Genèse du projet Nombreuses relations transpyrénéennes bilatérales entre scientifiques Soutiens des institutions par des appels à projet transfrontaliers Actions prépondérante et concertée des région Midi-Pyrénées et Aragon pour soutenir le montage du projet présenté à lUE dans le cadre du programme SUDOE

23 LE PROJET TRAIN² Le projet TRAIN2 propose la mise en place dune action concertée interdisciplinaire en nanosciences et nanotechnologies visant à unifier les efforts dans la région SUDOE au travers de coopérations transnationales Partenaires : 9 bénéficiaires 4 associés Premier Bénéficiaire 1. Universidad de Zaragoza (ES-Aragón) Autres bénéficiaires 2. CIC nanoGUNE (ES-País Vasco) 3. Institut Catala de Nanotecnología (ICN) (ES-Cataluña) 4. Universidad Politécnica de Valencia (ES-Comunidad Valenciana) 5. Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas (ES- Comunidad de Madrid): ICMA (Aragón) + CNM (Cataluña) 6. Instituto de Engenharia de sistemas e Computadores-Microsistemas e Nanotecnologias (PT-Lisboa) 7. Centre National de la Recherche Scientifique CNRS-Bordeaux (FR- Aquitaine): CBMN + CRPP 8. Centre National de la Recherche Scientifique CNRS-Toulouse (FR-Midi- Pyrénées): CEMES + LAAS + LCC + LPCNO 9. Université Montpellier 2 (FR-Languedoc-Rousillon): IES + LCVN Autres partenaires associés A1. International Iberian Nanotechnology Laboratory (PT-Norte) A2. Universidad de Cantabria (ES-Cantabria) A3. Universidade do Porto (PT-Norte)

24 LE PROJET TRAIN² Les groupes de travail Coordination (Leader : UNIZAR) Réseau de plateformes de nanotechnologie (Leader :LAAS) Nanosciences (Leader :ICMA) Education, formation (Leader :INA) Expertise sur les transferts de nanotechnologies (Leader :LAAS) Suivi évaluation (Leader :UNIZAR) Communication (Leader :UNIZAR)

25 LE PROJET TRAIN² Les objectifs Sur les aspects Scientifiques Techniques de la formation universitaire valorisation Mise en commun de compétences Partage de problématiques Développement de nouvelles collaborations et projets Quelques unes des actions Échanges de personnels Workshops thématiques Information sur les ressources disponibles Bases de données Communication Dans des conférences Site web …..


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