Micro-Usinage sur SiC
Introduction Objectifs du stage Travaux préliminaires Les étapes du process L’étape d’insolation Exemple d’interprétation des mesures d’épaisseur. La métallisation La gravure sur SiC Conclusion
Objectifs
Travaux préliminaires Elaboration des masques Choix du métal : NiCr
Quelques étapes du process
L’étape d’insolation
Interprétation des mesures d’épaisseur (1/2)
Interprétation des mesures d’épaisseur (2/2)
Métallisation / Gravure : Définitions Le plasma La source RF.
La métallisation
La gravure sèche (par plasma) Pourquoi la gravure sèche? Difficultés posés.
Principe d’une gravure sèche
Mécanismes de la gravure sèche
Gravure Ionique Réactive (RIE)
Gravure ECR (celle utilisée) : Taux d’ionisation plus élevé. Travail sous pression plus basse. Création plasma et accélération des ions séparées.
Bâti de gravure ECR
CONCLUSION