Micro-Usinage sur SiC.

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Transcription de la présentation:

Micro-Usinage sur SiC

Introduction Objectifs du stage Travaux préliminaires Les étapes du process L’étape d’insolation Exemple d’interprétation des mesures d’épaisseur. La métallisation La gravure sur SiC Conclusion

Objectifs

Travaux préliminaires Elaboration des masques Choix du métal : NiCr

Quelques étapes du process

L’étape d’insolation

Interprétation des mesures d’épaisseur (1/2)

Interprétation des mesures d’épaisseur (2/2)

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La métallisation

La gravure sèche (par plasma) Pourquoi la gravure sèche? Difficultés posés.

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Mécanismes de la gravure sèche

Gravure Ionique Réactive (RIE)

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Bâti de gravure ECR

CONCLUSION