Groupe de Microélectronique et Microsystèmes Fabrication des microsystèmes Applications Outils de conception Niveaux * académique * scientifique

Principes généraux UV Photolythographie Masque Couche photo-sensible En schématisant: la photolythographie est la base de tous les procédés de fabrication. C'est à partir d'elle que l'on peut faire tout ce qui suit ... Dissolution de la couche photo-sensible exposée Substrat (Si) Substrat (Si) Fabrication des microsystèmes

Principes généraux Photolythographie Substrat (Si) + Déposition (physique ou chimique) Dissolution de la couche photo-sensible Fabrication des microsystèmes

Principes généraux Photolythographie Déposition (physique ou chimique) Substrat (Si) Solution chimique + Gravure (humide ou sèche) Dissolution de la couche photo-sensible Fabrication des microsystèmes

Principes généraux Photolythographie Déposition (physique ou chimique) Gravure (humide ou sèche) Substrat (Si) IONS + Diffusion ou implantation d'impuretés (ions) Dissolution de la couche photo-sensible … pour modifier localement les propriétés électriques du Si Fabrication des microsystèmes

Principes généraux Exemple: MOSFET Oxyde Métal Source Gâchette Drain n Expliquer brièvement et dire que c'est l'élément de base des circuits numériques, puis montrer: * une puce au microscope, * une galette gravée, * un exemple de puce (VOIR CADRE "MIRABELLE" chez Valérie) * une puce montée dans un boitier ouvert pour montrer le bonding (Voir chez Valérie) Substrat de type p Oxyde Métal Fabrication des microsystèmes

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Micro-électronique Fiabilité, sécurité, performance Microcontrôleurs Microprocesseurs Circuits programmables (PLDs, FPGAs) Circuits intégrés spécifiques (ASICs) Fiabilité, sécurité, performance Insister sur les avantages de la microélectronique Applications

Micro-électromécanique Capteurs Moteurs Relais et Interrupteurs Composants électromagnétiques Faibles consommation, poids, coût Possibilités d'intégration Fiabilité Montrer les repères de taille Applications

Microfluidique Faible coût Optimisation des réactions et mélanges Conduits Valves, pompes, vannes Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques Faible coût Optimisation des réactions et mélanges Fiabilité Montrer les repères de taille Applications

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Microélectronique Conception Synthèse Outils de conception if input='1' then output <= '0'; else output <= output; end if; ... NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language) ANALOGIQUE: Schématique Outils de conception

Micro Electro-Mécanique Conception Synthèse Outils de conception