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Caroline BOISARD Responsable de projet CNRS 20 mars 2014 24/03/2014 The French micro and nanofabrication network for innovation RENATECH network.

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1 Caroline BOISARD Responsable de projet CNRS 20 mars /03/2014 The French micro and nanofabrication network for innovation RENATECH network

2 Sommaire 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème Nano RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

3 1 nm = mm Nanomètre Même ratio entre la terre et une orange quentre une orange et un nano objet 24/03/2014

4 Quest ce quune salle blanche ? Définition: Salle blanche Une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique. Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précisconcentrationindustrielrecherche scientifiquetempératurehumidité définition selon la norme ISO Comment ? Lair entrant est filtré 24/03/2014

5 Une salle blanche 24/03/2014

6 Au dessus 24/03/2014

7 Sommaire 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème Nano RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

8 Historique : le programme RTB 2003: Lancement du programme national RTB Recherche en technologies de Base Doter la France dune infrastructure capable de répondre de façon performante et au meilleur coût possible aux besoins de recherche de linnovation en micro et nanotechnologies porté par le CNRS et le CEA CNRS: 6 centrales réparties sur toute la France GIS RENATECH Infracstructure académiques de taille moyenne ( m² de salle blanches) CEA: 1 centre (Leti) ) à Grenoble Très grande infrastructure (wafer de 200 à 300 mm) dédiée à linnovation et au transfert vers lindustrie 24/03/2014

9 Promouvoir une recherche au meilleur niveau mondial dans le domaine des nanosciences Rationaliser le parc technologique en France Fournir un service de fabrication pour les utilisateurs scientifiques quils soient académiques ou industriels Elaborer une stratégie nationale dachat déquipements lourds Promouvoir les nanos sciences en France Missions 24/03/2014 Evaluation annuelle auprès dun panel international

10 OMNT – Observatoire de la micro et nanotechnologie Veille scientifique Analyse de létat de lart Cnano (Structuration nationale & régionale) Animation scientifique Dissémination de linformation Formation 7000 chercheurs+ 250 laboratoires Centrales de proximité 9 plateformes m² de salle blanche Program RTB 7 centrales ( CNRS-RENATECH ; CEA LETI) m² de salle blanche (7.000 CNRS CEA) pour la micro&nano fabrication et la nano charactérisation Ouvert aux académiques et industriels, nationaux et inernationaux L « écosystème » de la recherche en micro&nano 24/03/2014

11 Chaine de développement Disruptive Concepts New Products Proprietary Open Academia IP Integration Lab Volume Manufacturing Industrial R&D Leti Technology Transfer Product Development RENATECH 24/03/2014

12 Sommaire 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Ecosystème Nano RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

13 RENATECH: infrastructure pour la micro- nano fabrication et charactérisation 140 ingénieur & techniciens 7000 m² de salles blanches 6 Plateformes 1000 utilisateurs par an

14 Porté par le CNRS : Laurent Nicolas (DAS) Isabelle SAGNES (CM) Caroline BOISARD (CP) Piloté par : INSIS/INP Universités tutelles des 6 laboratoires Président du GIS : Michel de Labachelerie GIS RENATECH 24/03/2014

15 2014 BUDGET TGIR 2014 : K Coût des INFRASTRUCTURES en 2014 (sans projet scientifiue) 6,3 M /an 906/m² Coût dexploitation (projets scientifiques) 2 M/an Coût de personnel (~ 140 IR & Techniciens) 8,4 M/an INVESTISSEMENT 10% du parc à renouveler chaque année soit 12 M/an Budget et couts 24/03/2014 CNRS & Universtités= 59% (coûts fixes ) 3,282 M CNRS 0,435 M Universités Utilisateurs RENATECH= 41% 2,3 M Valeur des équipements : 126 M

16 Domaines des recherche Nanoelectronics / Spintronics Photonics MEMS / NEMS / MOEMS / Acoustics Micro-Nano for Biology Characterisation / Instrumentation CMOS scaling Beyond CMOS High performanc e micro-light sources Integration of SAW & BAW components on silicon Free labelling and high sensitivity detection Characterization of integrated nanomaterials Low power reliable electronics On-chip photonic systems Ultra-integrated RF acoustic devices using phononics crystals Full integration of biological or chemical analysis protocol in a micro- system Real time, in-situ analysis Logic & analog circuits Devices for mechanical-electrical energy generation & conversion Multiscale approaches for nano materials, nano devices and micro/nano systems Nanomagnetism Multifunction integrated sensors 24/03/2014

17 Equipements principaux LithographyDepositionMaterial/GrowthEtching Characterizatio n / Metrology Integration Photolitograph y (UV & deep- UV) EvaporationMBE Chemical etching Optical microscopy Packaging Electron-beam lithography SputteringCVD Reactive Ion etching Scanning probe microscopy Wire bonding LaserCVD Chemical synthesis LaserSEM & TEMDicing Imprint Electro- deposition ALDFIBProfilometry Wafer bonding Inkjet, roll- to-roll Ion implantation Electrical, HF & optical characterizations Flip chip Thermal/Chemical processing Diffraction 24/03/2014

18 Chiffes clés sur les projets exogènes 24/03/2014

19 Chiffres clés Nos partenaires 1.6M grand projet 8 ans 200 petit projet 1/2 journée Domaines dactivité Biotechnology (3%) Chemistry (4%) Earth Science & Astronomy (4%) Physics (19%) Engineering Science (40%) Other (25%) Quelques réalisation High performance infrared detectors for astronomy Optical nano-antenna made by etching for the company Lovalite Autonomous pressure and temperature sensor made with the company Schrader High fidelity micro speaker made with ST- Microelectronics Greater data conservation with saphir micro-eching for the company ARNANO 24/03/ mois Durée moyenne

20 Contents 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Nano ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

21 Les services Accès à la fabrication technologique Service de réalisation de micro et nanocomposants et systèmes Support pour la R&D Conseils technologiques Solutions techniques Accès encadré à des équipements de pointe © Usine Nouvelle David Cresbron Formation Les clients sont formés pour êtres des utilisateurs autonomes Recherche de financement Vision de létat de lart Identification de partenaires … Services sur mesure 24/03/2014

22 Process 24/03/2014

23 Résultats positifs Enquête de satisfaction 98% des objectifs sont atteints 89% des devis sont respectés 89% du planning est respecté >35 brevets par an 82% des utilisateurs sont satisfaits de la réactivité >500 publications par an Start-up (10%) PME (14%) Grandes entreprises (76%) Utilisateurs = académiques et industriels 450 utilisateurs en 2012 Industriels (16%) Académiques (84%) 24/03/2014

24 Contents 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Nano ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

25 Un seul point daccès Facturation après la réalisation Rapport (1 page, publications, brevets...), & enquête de satisfaction Courte description des besoins Etude de faisabilité gratuite Planning de travail et devis = Cout daccès horaire x le facteur de ressource 24/03/2014

26 Un accès en quelques clics 24/03/2014

27 Points de contacts des plateformes General information 24/03/2014

28 Contents 24/03/2014 Le programme RTB Histoire et missions Nano ecosystème RENATECH Localisations Organisation Budget et coûts Domaines de recherche et équipements Projets exogènes et chiffres clés Loffre de RENATECH Services Approche spécifique Utilisateurs Accès au réseau Site web Contact Actions Renatech

29 Action /03/2014 Un seul point dentrée -> Création du portail sur lequel les utilisateurs sinscrivent Promotion du réseau auprès des PME ->Collaboration avec la CCI de lEssonne et le réseau EEN -> Réalisation dune brochure à destination des industriels Collaboration avec Sample of science Harmonisation le calcul du cout daccès aux plateformes Campagne de sensibilisation « Please mention in the acknowledgment section: »This work was partly supported by the French RENATECH network

30 Et néanmoins un vrais progrès (WEB OF SCIENCE) Citations indexées Publications indexées 24/03/2014 Plus de 500 publications par an... Mais seulement 74 sont indexées.

31 Thank you for your attention Caroline BOISARD Responsable de projet /03/2014


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