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N Fabrication des microsystèmes n Applications n Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes.

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Présentation au sujet: "N Fabrication des microsystèmes n Applications n Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes."— Transcription de la présentation:

1 n Fabrication des microsystèmes n Applications n Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

2 n Photolythographie Principes généraux Fabrication des microsystèmes Substrat (Si) Couche photo-sensible Masque UV Substrat (Si) Dissolution de la couche photo-sensible exposée

3 n Photolythographie Substrat (Si) +Déposition (physique ou chimique) Dissolution de la couche photo-sensible Fabrication des microsystèmes Principes généraux

4 n Photolythographie Déposition (physique ou chimique) Substrat (Si) Solution chimique Substrat (Si) +Gravure (humide ou sèche) Dissolution de la couche photo-sensible Fabrication des microsystèmes Principes généraux

5 n Photolythographie Gravure (humide ou sèche) Déposition (physique ou chimique) Substrat (Si) IONS +Diffusion ou implantation d'impuretés (ions) Dissolution de la couche photo-sensible Fabrication des microsystèmes Principes généraux

6 Substrat de type p nn Oxyde SourceGâchetteDrain Métal n Exemple: MOSFET Fabrication des microsystèmes Principes généraux

7 n Fabrication des microsystèmes n Applications n Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

8 n Circuits intégrés spécifiques (ASICs) Micro-électronique n Microcontrôleurs n Microprocesseurs n Circuits programmables (PLDs, FPGAs) è Fiabilité, sécurité, performance Applications

9 Micro- électromécanique n Capteurs n Moteurs n Relais et Interrupteurs n Composants électromagnétiques è Faibles consommation, poids, coût è Possibilités d'intégration è Fiabilité Applications

10 Microfluidique n Conduits n Valves, pompes, vannes n Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques è Faible coût è Optimisation des réactions et mélanges è Fiabilité Applications

11 n Fabrication des microsystèmes n Applications n Outils de conception Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

12 Microélectronique Outils de conception if input='1' then output <= '0'; else output <= output; end if;... NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language) Synthèse Conception ANALOGIQUE: Schématique

13 Micro Electro-Mécanique Outils de conception Synthèse Conception


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