L’EPES : méthode d’analyse de surfaces : expériences et modélisations

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1 L’EPES : méthode d’analyse de surfaces : expériences et modélisations
Christine ROBERT-GOUMET Habilitation à Diriger des Recherches L’EPES : méthode d’analyse de surfaces : expériences et modélisations Etude de l’hétérostructure InN/InP(100) par spectroscopies électroniques Pr. A. Dubus : Faculté des Sciences appliquées de Bruxelles Pr. G. Lelay :Université de Provence, Marseille Pr. B. Gruzza : Université Blaise-Pascal, Clermont-Fd Dr. G. Gergely : Académie des Sciences de Hongrie, Budapest Pr. V. Matolin : Université Charles, Prague Pr. L. Bideux : Université Blaise-Pascal, Clermont-Fd

2 Enseignante au département de Physique de l’UBP :
L’enseignement Enseignante au département de Physique de l’UBP : Activités d’enseignement : Ecole d’ingénieur Polytech’Clermont  - 2ème année : Microscopies Electroniques - 3ème année : Spectroscopies Electroniques M2R - Master mention STIC Caractérisations avancées des solides M2P - Master Professionnel IUP GSI  - Microscopies électroniques (MEB et MET) M1- Master mention physique parcours matériaux - Microscopies électroniques - Diffraction des rayons X par les matériaux L1-L3 - Licence Physique et Ingénieries et CP2I - Mécanique du point - Optique géométrique - Electrostatique, Electrocinétique - Mécanique des Fluides / des Vibrations - Chocs et Vibrations, Transferts thermiques

3 Enseignante au département de Physique de l’UBP :
L’enseignement Enseignante au département de Physique de l’UBP : Responsabilités administratives : Membre du conseil du département Vice-présidente et trésorière ( ) Commission des finances (UFR) Conseil du département Commission des études (UFR) 1998 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 2008 Directrice des Etudes de Première Année (DEPA) Coordinatrice de la Classe Préparatoire Intégrée CHIM.I.ST

4 Responsabilités administratives :
L’enseignement La recherche Chercheur au LASMEA : Responsabilités administratives : Commission de spécialistes 28 (UBP) Commission de spécialistes 28 (UBP) et (UA) Commission de spécialistes 28 (UBP) Assesseur 1998 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 2008 Conseil de laboratoire (LASMEA)

5 Activités de recherche :
L’enseignement La recherche Chercheur au LASMEA : Activités de recherche : Développement des méthodes d’analyse par spectroscopies électroniques : EPES et MM-EPES Elaboration de couches ultra-minces de nitrure d’indium sous ultra-vide. Caractérisations in-situ par spectroscopies électroniques (AES, EPES, XPS)

6 Mes encadrements de stages :
L’enseignement La recherche B. ZEFACK N. DALLE R. DJONDANG Mes encadrements de stages : S. ARABASZ Mes encadrements de thèses : Samir CHELDA P. IROCZ Sana Ben KHALIFA Matthieu PETIT Radek KAPSA ATER 28ème MCF 28ème UBP UBP Soutenance Thèse Recrutement

7 L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Partie 1. Interactions élastiques des électrons avec la matière - Développement des méthodes d’analyse par spectroscopies électroniques : EPES et MM-EPES. Contexte de l’étude Interprétation quantitative de nombreuses méthodes d'analyse : Paramètre fondamental : li Obtention : Utilisation de mesures optiques Calculs théoriques Utilisation du nombre d'électrons élastiques réfléchis par les matériaux Suivi in-situ de la formation d’interfaces complexes : L’EPES : méthode adaptée – sensible à la surface des matériaux

8 élastique des électrons
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Spectroscopie de rétrodiffusion élastique des électrons EPES Méthode expérimentale : mesure de l’intensité élastique he = Ie/Ip Simulation Monte Carlo : description du cheminement des électrons élastiques dans la matière he(MC) Comparaison expériences/simulations Détermination du libre parcours moyen inélastique des électrons : li Etude d’hétérostructures complexes

9 Détermination des libres parcours des électrons Formule de Bauer1
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Simulation du parcours des électrons élastiques dans le matériau par méthode de Monte-Carlo. Détermination des libres parcours des électrons Formule de Bauer1 sT : section différentielle totale de diffusion élastique NA : densité des atomes/cm3 Formule de TPP-2M2 Nv : nombre d’électrons de valence par atome ou molécule r : densité volumique Eg : gap du matériau M : poids atomique ou moléculaire Loi de Poisson 1 E. Bauer, J. Vac. Sci. Technol. 7 (1970) 3 2 S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn, Surf. Interf. Anal. 21 (1994) 165

10 Nature de l’interaction :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Nature de l’interaction : Interaction inélastique : li < le Parcours de l’électron stoppé Interaction élastique : li > le Calcul des angles de diffusion (q,j) Détermination des angles de diffusion ( q,j ): j : angle azimutal Distribution statistique uniforme sur [0,2p] q : angle de diffusion élastique Loi dont la fonction densité de probabilité est f(q)

11 Repérage de l’électron : coordonnées de l’électron
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Repérage de l’électron : coordonnées de l’électron Surface Electrons primaires Analyseur y’ z’ x’ a an-1 ln-1 ln q j z qout Au début de la simulation : 0, q=a, j=0 A la nième collision élastique : r, qn, jn

12 Influence de la structure du matériau
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Influence de la structure du matériau Dans la plupart des modèles développés dans la littérature : le solide = un milieu homogène semi-infini Approche différente : Description du matériau couches par couches Modèle AAA Modèle ABAB Modèle AAB

13 Importance de l’acceptance de l’analyseur
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Importance de l’acceptance de l’analyseur Nél : nombre d’électrons réfléchis élastiquement et rentrant dans l’analyseur N : nombre total d’électrons ayant permis de réaliser la simulation  ( d’électrons) Energie primaire des électrons incidents a : angle d’incidence des électrons primaires qout et jout : angles d’émission des électrons élastiques Différents types d’analyseurs : - RFA Définition de la fenêtre de collection de chaque analyseur - HSA tournant - CMA

14 Résultats de la simulation Monte-Carlo.
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Résultats de la simulation Monte-Carlo. Distribution angulaire : Représentation 3D  Al, a = 30° Distribution dépend des angles d’incidence et d’émission Al, a = 70° Al, a = 60°

15 Provenance des électrons :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Provenance des électrons : A 200 eV Près de 98% des électrons proviennent des 2 premières couches Possibilité en faisant varier l’énergie primaire des électrons, de modifier la profondeur atteinte : MM-EPES A 1000 eV 70-80% des électrons proviennent des 3 premières couches

16 Suivant les éléments Z : dépendance énergétique différente
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Dépendances du coefficient de réflexion élastique : 1. Dépendance énergétique  Suivant les éléments Z : dépendance énergétique différente Détermination des différents éléments présents à la surface en choisissant l’énergie adéquate.

17 Dépendances du coefficient de réflexion élastique :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Dépendances du coefficient de réflexion élastique : Au (Z=79) 2. Dépendance angulaire (a = 0°) Cu (Z=29) Ag (Z=47) he dépend des angles d’émission donc des angles de collection de l’analyseur utilisé.

18 Bon accord entre ces différentes simulations
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Comparaison des résultats de notre simulation Monte-Carlo avec les résultats publiés par d’autres auteurs. Bon accord entre ces différentes simulations 1A. Dubus, A. Jablonski, S. Tougaard, Progress in Surface Science 63 (2000) 1A. Jablonski, K. Olejnik, J. Zemek, Electron spectros. Related. Phenom. 152 (2006)

19 Détermination du libre parcours moyen inélastique li
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Détermination du libre parcours moyen inélastique li L’EPES associe à une simulation Monte-Carlo : méthode très adaptée pour la détermination du paramètre li. Paramètre bien connu pour des éléments purs Très peu de travaux publiés sur les composés binaires Etudes dans le cadre d’un contrat européen COPERNICUS : - semiconducteur III-V : InSb Mesures expérimentales obtenues dans 4 laboratoires - alliages binaires : AuxCuy Configurations expérimentales différentes: Ep, a, angles de collections (qout,jout)

20 Semiconducteur III-V : InSb
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Semiconducteur III-V : InSb Obtention du li par ajustement simulation/expérience - Mesures absolues + notre simulation Monte-Carlo (RFA-C) - Mesures relatives / Au + simulation d’A. Jablonski (RFA-P et DCMA) Comparaison avec les résultats publiés par Tanuma et al1(TPP-2M), Kwei et al2 et Gries3 (G1) L’EPES : méthode adaptée pour la détermination du li indépendamment des conditions expérimentales 1S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn, Surf. Interface Anal. l7 (1991) 927. 2C.M. Kwei, L.W. Chen, Surf. Interface Anal. 11 (1988) 60. 3W.H. Gries, Surf. Interface Anal. 24 (1996) 38.

21 Alliages binaires : AuxCuy
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Alliages binaires : AuxCuy Détermination du li pour 3 alliages : Au25Cu75 Au50Cu50 Au75Cu25 Comparaison expériences/simulation : - Mesures absolues + notre simulation Monte-Carlo (RFA-C) - Mesures relatives / Au + simulation d’A. Jablonski (RFA-P et DCMA) Comparaison des résultats avec : la formule TPP2-M1 la formule de Gries2 A l’aide de l’EPES associé à une simulation MC : détermination des li pour chaque alliage 1S. Tanuma, C.J. Powell, D.R. Penn, Surf. Interf. Anal. 21 (1994) 165. 2W.H. Gries, Surf. Interface Anal. 24 (1996) 38.

22 Etude quantitative de l’EPES :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Etude quantitative de l’EPES : La méthode EPES : très sensible à la surface des matériaux Détermination de la composition des différentes couches superficielles de la surface Variation de l’énergie primaire des électrons Modulation de la sensibilité à la surface Voie plus appliquée : très peu de publications Etude des hétérostructures : Au/Al2O3/Si et Au/Al0/Al2O3/Si Etude du système AlxGa1-xAs.

23 Etude d’un dépôt d’or sur une surface d’Al2O3 :
Au/Al2O3 Au/Al0/Al2O3 Observation de 2 processus de condensation d’or sur des surfaces d’alumine différentes

24 Etude de l’hétérostructure Au/Al2O3/Si :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Etude de l’hétérostructure Au/Al2O3/Si : 100 % : 3 couches 95 % : 3 couches 5% : 4 et + 88% : 3 couches 12% : 4 et + Présence de 3 MC d’or pur à la surface

25 he entre les deux valeurs extrêmes GaAs et AlAs
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Etude d’un système AlxGa1-xAs Etude EPES de 4 échantillons ayant différentes concentrations en aluminium Simulation Monte-Carlo : GaAs et d’AlAs. he entre les deux valeurs extrêmes GaAs et AlAs

26 Etude d’un système AlxGa1-xAs
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Etude d’un système AlxGa1-xAs - Interpolation linéaire entre les valeurs du GaAs et de l’AlAs - Estimation de la concentration en Al de 4 échantillons pour chaque énergie Echantillon AlxGa1-xAs Composition en Al (mesures EPES) (mesures RHEED) 401 0.36  0.08 0.4 402 0.25  0.07 0.23 403 0.20  0.09 0.19 404 0.21  0.07 0.20 Bon accord entre les mesures MM-EPES et RHEED

27 Effet de la rugosité de surface sur les mesures EPES
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Effet de la rugosité de surface sur les mesures EPES Description de la rugosité de surface Facteur très difficile à contrôler expérimentalement Très complexe à décrire à l’aide d’un formalisme mathématique Surface de référence H ’ 2l b N : normale à la surface de référence N2 : normale à la pente de droite N1 : normale à la pente de gauche Code de simulation Monte Carlo : adapté à une surface Si possédant des créneaux (H,b) H = 6 mm et b =70°

28 Définition de l’ombrage direct et indirect
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Définition de l’ombrage direct et indirect g 2l Ombrage direct Région 2 : Electrons détectables Région 3 : Electrons non détectables h Analyseur HSA L Electrons primaires Surface de référence x Région 1 : Ombrage indirect out Ombrage indirect

29 Effet de l’ombrage direct et indirect
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Effet de l’ombrage direct et indirect he : surface rugueuse sans ombrage he : surface rugueuse avec ombrage L’effet d’ombrage augmente avec l’angle d’incidence Effet d’ombrage

30 Simulation MC d’une surface plane
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces E= 200 eV Simulation MC d’une surface plane Simulation MC d’une surface rugueuse Points expérimentaux publiés1 pour une surface rugueuse E= 500 eV Pour une surface rugueuse: simulations et expériences en bon accord 60° 80° 40° 20° 0° Augmentation de l’écart entre les 2 types de surface avec l’angle d’incidence des électrons 1A. Jablonski, K. Olejnik, J. Zemek, Electron spectros. Related. Phenom. 152 (2006)

31 Conclusions et perspectives sur l’EPES
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse de surfaces Conclusions et perspectives sur l’EPES L’EPES : Méthode : - sensible à la surface des matériaux - complémentaire aux autres spectroscopies Méthode adaptée pour la détermination : - du libre parcours moyen inélastique li - des différentes couches superficielles de la surface Les valeurs de he dépendent : de l’énergie primaire des électrons des angles d’incidence et de collection de l’analyseur de l’état de la surface : la rugosité Présentation des premiers résultats sur une surface rugueuse : Etendre l’étude à d’autres matériaux, à d’autres types de rugosités Prise en compte des excitations de surface ou plasmons de surface : nouveau code de simulation (thèse en cours)

32 L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Partie 2. Elaboration de couches ultra-minces de nitrure d’indium sous ultra-vide et caractérisation in-situ par spectroscopies électroniques (AES, EPES, XPS) Les nitrures d’éléments III (GaN, InN): Domaines d’applications En optoélectronique : lasers UV et bleus En électronique : applications à haute température et à haute puissance Contexte de l’étude : Expertise « III-V » de l’équipe : surface de l’InP(100), passivation par Sb :InSb/InP La nitruration de la surface InP(100) : Amélioration de la qualité de l’interface (couche tampon) Fabrication de films minces d’InN sur InP

33 Collaboration avec l’université Charles de Prague :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Collaboration avec l’université Charles de Prague : Conception et réalisation d’une source d’azote à décharge haute tension Deux runs au synchrotron ELLETRA de Trieste (Italie) HT (+2 kV) Enceinte ultra-vide Bride CF40 Tube en quartz Cylindre d’inox porté à une haute tension N2 Dissociation de la molécule d’azote : N N2+, N+, N, N2 N, N+ N2+, N2 Material Science Beamline (MSB)

34 Etape 1 : Création d’îlots d’indium métallique
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Etape 1 : Création d’îlots d’indium métallique Après bombardement ionique de la surface InP(100) h=4MC, q=25% Cristallites d’indium métallique de taille nanométrique Rôle de précurseurs pour la nitruration

35 Calculs des intensités théoriques du signal des atomes d’indium :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie SR-XPS : 25% 4 MC 4 3 2 5 1 6 environnements chimiques des atomes d’indium Calculs des intensités théoriques du signal des atomes d’indium : environnements chimiques des atomes de phosphore Rapport :

36 Suivi par spectroscopie SR-XPS :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie SR-XPS : 3 18 19 20 environnement 3 (In-In volume) 16 17 environnement 4 (In-In surface) environnement 1 (In-P volume) intensité (Cps) énergie de liaison (eV) h n =50 eV 1 4 6 127 128 129 130 131 environnement 6 (P-In volume) environnement 5 (P-In surface) énergie de liaison (eV) intensité (u.a.) h n =190 eV 5 P2p In4d R(théorie)= 0,85 Rapport : R(Expér.) = 0,84 Cohérence entre théorie et expériences : Validation des paramètres de décomposition et de la description des différents environnements

37 Étape 2 : Réalisation de 2 couches d’InN/InP(100)
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Étape 2 : Réalisation de 2 couches d’InN/InP(100)  Etape 1 : Après bombardement ionique Etape 2 : 1ère nitruration T=250°C Etude en fonction de : L’angle du flux d’azote / à la surface Temps de nitruration

38 Suivi par spectroscopie Auger
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Les contributions P-In et P-N avant nitruration : 3 gaussiennes : correspondants aux liaisons P-In (triplet Auger du P) après nitruration : 6 gaussiennes : 3 pour les P-In et 3 pour les P-N.

39 Suivi par spectroscopie Auger
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Proportion des liaisons P-In et P-N dans la totalité du pic Auger du phosphore Flux rasant 40 min 40 min

40 Moins de liaisons P-N formées sous un flux rasant
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Proportion des liaisons P-N formées par rapport aux liaisons P-In  Flux rasant Flux normal R=1.2 40 min Moins de liaisons P-N formées sous un flux rasant

41 Transitions Auger de l’indium et de l’azote
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Transitions Auger de l’indium et de l’azote Au cours de la nitruration : Apparition du pic Auger de l’azote Décalage en énergie du pic Auger de l’indium

42 Processus optimal de nitruration :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Décalage de la pic Auger de l’indium Variations différentes suivant l’angle du flux Différence d’électronégativité des espèces présentes Processus optimal de nitruration : In P N 40 min sous flux rasant

43 Suivi par spectroscopie SR-XPS
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie SR-XPS Atomes d’azote Atomes d’indium Atomes de phosphore 7 8 Nouveaux environnements chimiques des atomes d’indium 9 Nouvel environnement chimique des atomes de phosphore

44 Suivi par spectroscopie SR-XPS
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie SR-XPS niveau de cœur P2p niveau de cœur In4d Intensité théorique du signal provenant des atomes d’indium du substrat d’InP : hn=190 eV hn=50 eV P-In Intensité théorique du signal provenant des atomes d’indium des couches de nitrure : P-N I/I’= couches d’InN/InP(100)

45 Passivation thermique : étude du recuit des couches nitrurées
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Le processus de nitruration dépend fortement : - du temps d’exposition au flux d’azote - de l’angle d’incidence du flux/ surface Efficacité du processus maximale : 40 minutes à angle rasant Epaississement des couches de nitrure : création de 4 couches d’InN/InP(100) Passivation thermique : étude du recuit des couches nitrurées

46 Etapes 3 et 4 : Réalisation de 4 couches d’InN/InP(100)
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Etapes 3 et 4 : Réalisation de 4 couches d’InN/InP(100)  Etape 2 : 1ère nitruration (40 min) Etape 3 : Après dépôt d’In Etape 4 : 2ème nitruration Etapes de la nitruration Etape 1 : Après bombardement ionique

47 Transitions Auger de l’indium et de l’azote
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Transitions Auger de l’indium et de l’azote Valeurs permettant de suivre les différentes étapes du processus de nitruration

48 Suivi par spectroscopie Auger
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie Auger Evolution des rapports expérimentaux RP-N/P-In et RP-N/P, RP-In/P RP-N/P-In Comparaison expérience/modélisation Création de 4 couches d’InN/InP(100)

49 Etude du recuit des structures InN/InP(100) :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Etude du recuit des structures InN/InP(100) : Suivi par spectroscopie SR-XPS Recuit T = 450 °C (Température de congruence de l’InP : 380°C) Pas dévolution significative du pic In4d entre nitruré et nitruré recuit Passivation thermique de la surface

50 Suivi par spectroscopie SR-UPS
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par spectroscopie SR-UPS Pas de changements significatifs de la BV en fonction de l’énergie du faisceau 3 nouvelles structures après la nitruration : 3,5 eV – 5 eV et 9 eV Structures plus marquées après le recuit Arrangement ou cristallisation des couches nitrurées sous l’influence du chauffage

51 Suivi par diffraction d’électrons lents (LEED) :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Suivi par diffraction d’électrons lents (LEED) : Structure (4x2) : déjà observée sur une surface d’InP(100) riche indium Structure principale (4x1) : attribuée aux couches d’InN formées sur la surface d’InP(100). Epaisseur de l’InN très faible. Couche contrainte par le substrat InP(100). 1x4 2x4

52 Calculs utiles pour interpréter les mesures électriques I(V) et C(V)
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Détermination de l’offset de bandes à l’interface InN/InP(100) : Mesure de la discontinuité de la bande de valence DEv à l’interface InN/InP par SR-XPS: Calculs utiles pour interpréter les mesures électriques I(V) et C(V)

53 Conclusions sur l’élaboration de couches minces d’InN/InP(100)
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Conclusions sur l’élaboration de couches minces d’InN/InP(100) Méthode originale de nitruration de surfaces InP(100) Epaississement des couches de nitrures Recuit à 450°C des couches de nitrures : Passivation thermique de la surface Les spectroscopies d’électrons + modèles théoriques : compréhension des phénomènes de surface.

54 Perspectives : Réalisation de nano-pores organisés sur InP(100)
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Perspectives Perspectives : Réalisation de nano-pores organisés sur InP(100) Réalisation de masques d’alumine AAO Suivi par MEB Suivi par spectroscopie électronique XPS Masque AAO 100 nm Nanopores InP(100)

55 Premiers résultats obtenus en XPS : Suivi du pic P2p
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Perspectives Premiers résultats obtenus en XPS : Suivi du pic P2p

56 Premiers résultats obtenus en XPS : Suivi et décomposition du pic In4d
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Perspectives Premiers résultats obtenus en XPS : Suivi et décomposition du pic In4d

57 Les masques AAO permettent de réaliser :
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Perspectives Les masques AAO permettent de réaliser : des trous de tailles nanométriques ayant une configuration contrôlée Étude plus poussée en faisant varier : l’énergie des ions le temps de bombardement le diamètre des pores Modélisations à développer – Expérience XPS Premiers résultats très prometteurs permettant d’envisager : la croissance de piliers d’InN sur InP(100) la réalisation de boites enfouies d’InN

58 Merci pour votre attention!
L’enseignement La recherche l’ EPES : Méthode d’analyse Couches minces d’InN Synthèse des travaux Travaux écrits: 5 Mémoires de Master et 4 Thèses (dont 1 en cours) 38 publications dans des journaux internationaux Merci pour votre attention! Contrats, programmes associés à ce travail : Programme Européen 6ème PCRDT : COPERNICUS ( ) Runs au Synchrotron ELLETRA (Italie) : - Materials Science Beamline (MSB) (2003 et 2005) Programme d’Action Intégrée (PAI) : - POLONIUM : Institut Physique-Chimie de Varsovie ( ) - BARRANDE : Université Charles de Prague ( ) - CMEP : université Sidi Bel Abbès ( et ) - CMCU - France/Tunisie ( et ) Echanges ERASMUS (2003) Conventions Massif-Central et (programme TIMS)

59 L’EPES : méthode d’analyse de surfaces; expériences et modélisations
Christine ROBERT-GOUMET L’EPES : méthode d’analyse de surfaces; expériences et modélisations Etude de l’hétérostructure InN/InP(100) par spectroscopies électroniques Habilitation à Diriger des Recherches Pr. A. Dubus : Faculté des Sciences appliquées de Bruxelles Pr. G. Lelay, Université de Provence, Marseille Pr. B. Gruzza, Université Blaise-Pascal, Clermont-Fd Dr. G. Gergely, Académie des Sciences de Hongrie, Budapest Pr. V. Matolin , Université Charles, Prague Pr. L. Bideux , Université Blaise-Pascal, Clermont-Fd

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